Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Η επιταξιακή μονάδα από το Semicorex συνδυάζει την ανθεκτικότητα, την καθαρότητα και την μηχανική ακριβείας, η οποία αποτελεί κρίσιμο συστατικό στην επιταξιακή ανάπτυξη του SIC. Επιλέξτε Semicorex για απαράμιλλη ποιότητα σε επικαλυμμένες λύσεις γραφίτη και μακροπρόθεσμες επιδόσεις σε απαιτητικά περιβάλλοντα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο ημι-ανώτερο μισό φεγγάρι είναι ένας ημικυκλικός SIC επικαλυμμένος με γραφίτη δισκίο, σχεδιασμένο για χρήση σε επιταξιακούς αντιδραστήρες. Επιλέξτε το Semicorex για την καθαρότητα υλικού που οδηγεί στη βιομηχανία, την κατεργασία ακριβείας και την ομοιόμορφη επίστρωση SIC που εξασφαλίζει μακροχρόνια απόδοση και ανώτερη ποιότητα πλακιδίων.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι μεταφορείς Semicorex SIC επικαλυμμένα με δίσκους είναι υψηλής ποιότητας γραφίτη ομοφυλόφιλοι επικαλυμμένοι με καρβίδιο πυριτίου CVD, σχεδιασμένο για βέλτιστη υποστήριξη δίσκων κατά τη διάρκεια διεργασιών ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας. Επιλέξτε Semicorex για απαράμιλλη ποιότητα επίστρωσης, παραγωγή ακριβείας και αποδεδειγμένη αξιοπιστία που εμπιστεύεται ο κορυφαίος ημιαγωγός FABS παγκοσμίως.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι Semicorex SIC επικαλυμμένα με δισκογραφικά δίσκους είναι ο φορέας υψηλής απόδοσης σχεδιασμένος ειδικά για εναπόθεση μεμβράνης υπεριώδους μεμβράνης υπό συνθήκες χωρίς πίεση. Με την προηγμένη μηχανική των υλικών, τον έλεγχο πορώδους ακριβείας και την ισχυρή τεχνολογία SIC επικάλυψης, η Semicorex προσφέρει την κορυφαία αξιοπιστία και την προσαρμογή για να καλύψει τις εξελισσόμενες ανάγκες της παραγωγής ημιαγωγών επόμενης γενιάς.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι δακτύλιοι Semicorex 8 ιντσών έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν ακριβή σταθεροποίηση και εξαιρετικές επιδόσεις σε επιθετικά θερμικά και χημικά περιβάλλοντα. Το Semicorex παρέχει μηχανική ειδική για την εφαρμογή, τον αυστηρό έλεγχο διαστάσεων και τη συνεπή ποιότητα της επίστρωσης SIC για να ανταποκριθεί στις αυστηρές απαιτήσεις της προηγμένης επεξεργασίας ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι πλάκες επικάλυψης Semicorex RTP SIC είναι φορείς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί για χρήση σε απαιτητικά περιβάλλοντα ταχείας θερμικής επεξεργασίας. Εμπιστευμένοι από τους κορυφαίους κατασκευαστές ημιαγωγών, η Semicorex προσφέρει ανώτερη θερμική σταθερότητα, ανθεκτικότητα και έλεγχο μόλυνσης που υποστηρίζεται από αυστηρά πρότυπα ποιότητας και παραγωγή ακριβείας.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης