Οι δακτύλιοι εισαγωγής αερίου χρησιμοποιούνται για να καλύπτουν την άκρη και την περίμετρο του πλακιδίου, προστατεύοντας τα κρίσιμα εξαρτήματα του θαλάμου για να δημιουργήσουν ένα καθαρό, αδρανές και προστατευμένο περιβάλλον και επεκτείνοντας την ωφέλιμη ζωή τους στους θαλάμους εναπόθεσης, ώστε να εκτίθενται σε πλάσμα και υψηλή θερμοκρασία κατά την εναπόθεση ή την επεξεργασία του πλακιδίου , τόσο η ισχυρή αντοχή στο πλάσμα και η υψηλή καθαρότητα είναι κρίσιμα για την τελική απόδοση της γκοφρέτας.
Δακτύλιοι με επίστρωση Semicorex CVD SiC σχεδιασμένοι ειδικά για αυτές τις απαιτητικές εφαρμογές εξοπλισμού επιταξίας.
Οι δακτύλιοι εισόδου Semicorex SIC είναι συστατικά καρβιδίου πυριτίου υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί για εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών, προσφέροντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντίσταση και κατεργασία ακριβείας. Η επιλογή του Semicorex σημαίνει να αποκτήσετε πρόσβαση σε αξιόπιστες, προσαρμοσμένες και χωρίς μόλυνση λύσεις που εμπιστεύονται οι κορυφαίοι κατασκευαστές ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης