Οι δακτύλιοι εισαγωγής αερίου χρησιμοποιούνται για να καλύπτουν την άκρη και την περίμετρο του πλακιδίου, προστατεύοντας τα κρίσιμα εξαρτήματα του θαλάμου για να δημιουργήσουν ένα καθαρό, αδρανές και προστατευμένο περιβάλλον και επεκτείνοντας την ωφέλιμη ζωή τους στους θαλάμους εναπόθεσης, ώστε να εκτίθενται σε πλάσμα και υψηλή θερμοκρασία κατά την εναπόθεση ή την επεξεργασία του πλακιδίου , τόσο η ισχυρή αντοχή στο πλάσμα και η υψηλή καθαρότητα είναι κρίσιμα για την τελική απόδοση της γκοφρέτας.
Δακτύλιοι με επίστρωση Semicorex CVD SiC σχεδιασμένοι ειδικά για αυτές τις απαιτητικές εφαρμογές εξοπλισμού επιταξίας.