8.

Το Semicorex 8 ιντσών EPI Sensceptor είναι ένα τμήμα υποστήριξης υψηλής τεχνολογίας που χρησιμοποιείται σε επιταξιακές εργασίες εναπόθεσης για την κατασκευή ημιαγωγών. Κατασκευάζεται με επαρκώς εσωτερικό υλικό πυρήνα γραφίτη επικαλυμμένο με παχύ, συνεχές ομοιόμορφο στρώμα καρβιδίου πυριτίου (SIC) που χρησιμοποιείται σε επιταξιακούς αντιδραστήρες όπου είναι σημαντική η θερμική σταθερότητα, η χημική αντοχή και η ομοιομορφία της εναπόθεσης. Η διάμετρος των 8 ιντσών είναι τυποποιημένη στις προδιαγραφές της βιομηχανίας για εξοπλισμό που επεξεργάζεται 200 mm πλακίδια και συνεπώς παρέχει αξιόπιστη ενσωμάτωση στην υπάρχουσα πολυεθνική κατασκευή.  

Η επιταξιακή ανάπτυξη απαιτεί ένα εξαιρετικά ελεγχόμενο θερμικό περιβάλλον και σχετικά αδρανές υλικό αλληλεπιδράσεις. Και στις δύο περιπτώσεις ο γραφίτης με επικάλυψη SIC θα εκτελεστεί θετικά. Ο πυρήνας γραφίτη έχει πολύ υψηλή θερμική αγωγιμότητα και πολύ χαμηλή θερμική διαστολή, που σημαίνει με μια επαρκώς σχεδιασμένη πηγή θέρμανσης που η θερμότητα από τον πυρήνα του γραφίτη μπορεί να μεταφερθεί γρήγορα και να διατηρήσει σταθερές διαβαθμίσεις θερμοκρασίας στην επιφάνεια του δίσκου. Το εξωτερικό στρώμα του SIC είναι στην πραγματικότητα το εξωτερικό κέλυφος του αισθητήρα. Το στρώμα SIC προστατεύει τον πυρήνα της ευαισθησίας από τις υψηλές θερμοκρασίες, τα διαβρωτικά υποπροϊόντα του αερίου διεργασίας όπως το υδρογόνο, τις εξαιρετικά διαβρωτικές ιδιότητες του χλωριωμένου σιλανίου και τη μηχανική καταστροφή λόγω της σωρευτικής φύσης της μηχανικής φθοράς που προκαλούνται από επαναλαμβανόμενους κύκλους θέρμανσης. Συνολικά μπορούμε εύλογα να προβλέψουμε ότι εφ 'όσον αυτή η δομή διπλού υλικού είναι επαρκώς παχύρρευστη, ο αισθητήρας θα παραμείνει τόσο μηχανικά υγιής όσο και χημικά αδρανή σε περιόδους παρατεταμένης θέρμανσης. Συμπερασματικά, το παρατηρήσαμε εμπειρικά όταν λειτουργούμε σε σχετικές θερμικές περιοχές και το στρώμα SIC παρέχει ένα αξιόπιστο εμπόδιο μεταξύ της διαδικασίας και του πυρήνα γραφικών, μεγιστοποιώντας τις ευκαιρίες για την ποιότητα του προϊόντος, μεγιστοποιώντας τα εργαλεία.

Τα εξαρτήματα γραφίτη έχουν ένα ουσιαστικό και απίστευτα σημαντικό ρόλο στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών και η ποιότητα του υλικού γραφίτη αποτελεί σημαντικό παράγοντα στην απόδοση του προϊόντος. Στο Semicorex έχουμε αυστηρό έλεγχο σε κάθε βήμα της παραγωγικής μας διαδικασίας, ώστε να μπορούμε να έχουμε ιδιαίτερα αναπαραγώγιμο υλικό ομοιογένεια και συνέπεια από παρτίδα σε παρτίδα. Με τη μικρή διαδικασία παραγωγής παρτίδας, έχουμε μικρούς φούρνους ανθρακούχου με όγκο μόνο 50 κυβικών μέτρων, επιτρέποντάς μας να διατηρούμε αυστηρότερους ελέγχους στη διαδικασία παραγωγής. Κάθε μπλοκ γραφίτη υφίσταται ατομική παρακολούθηση, που μπορεί να παρατηρηθεί σε όλη τη διαδικασία μας. Εκτός από την παρακολούθηση θερμοκρασίας πολλαπλών σημείων εντός του κλίβανου, παρακολουθούμε τη θερμοκρασία στην επιφάνεια του υλικού, ελαχιστοποιώντας τις αποκλίσεις της θερμοκρασίας σε ένα πολύ στενό εύρος σε όλη τη διαδικασία παραγωγής. Η προσοχή μας στη θερμική διαχείριση μας επιτρέπει να ελαχιστοποιήσουμε το εσωτερικό στρες και να παράγουμε εξαιρετικά σταθερά και αναπαραγώγιμα εξαρτήματα γραφίτη για εφαρμογές ημιαγωγών.

Η επικάλυψη SIC εφαρμόζεται μέσω εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και παράγει μια στερεά, καθαρή τελική επιφάνεια με μια μήτρα λεπτού κόκκου που μειώνει την παραγωγή σωματιδίων. και ως εκ τούτου, η διαδικασία καθαρής CVD ενισχύεται. Ο έλεγχος της διαδικασίας CVD του επικαλυμμένου πάχους μεμβράνης εξασφαλίζει ομοιομορφία και είναι σημαντικός για την επιπεδότητα και τη σταθερότητα διαστάσεων μέσω της θερμικής κύκλησης. Αυτό τελικά παρέχει εξαιρετική επίπεδη επίπεδο, με αποτέλεσμα την πιο ομοιόμορφη εναπόθεση στρώματος κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξίας.-Μια βασική παράμετρος για την επίτευξη συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης, όπως τα MOSFET Power, IGBTs και RF.

Η διασταυρούμενη συνέπεια είναι ένα ακόμη θεμελιώδες πλεονέκτημα του 8 ιντσών EPI Sensceptor που κατασκευάζεται από το Semicorex. Ο αισθητήρας είναι κατασκευασμένος σε αυστηρές ανοχές με αποτέλεσμα μεγάλη συμβατότητα με τα ρομπότ χειρισμού των πλακιδίων και την προσαρμογή ακριβείας στις ζώνες θέρμανσης. Η επιφάνεια του ευαισθησία είναι γυαλισμένη και προσαρμοσμένη στις συγκεκριμένες θερμικές συνθήκες και συνθήκες ροής του συγκεκριμένου επιταξιακού αντιδραστήρα που θα αναπτυχθεί η ευαισθησία. Οι επιλογές, για παράδειγμα, οι οπές ανύψωσης, οι εσοχές τσέπης ή οι επιφάνειες κατά της ολίσθησης μπορούν να συνδυαστούν με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις των σχεδίων και των διαδικασιών εργαλείων OEM.

Κάθε ευαισθησία υφίσταται πολλαπλές δοκιμές τόσο για τη θερμική απόδοση όσο και για την ακεραιότητα της επικάλυψης κατά τη διάρκεια της παραγωγής. Οι μέθοδοι ελέγχου ποιότητας, συμπεριλαμβανομένης της μέτρησης και της επαλήθευσης διαστάσεων, των δοκιμών προσκόλλησης επικάλυψης, των δοκιμών αντοχής σε θερμικό σοκ και των δοκιμών χημικής αντοχής για την εξασφάλιση της αξιοπιστίας και της απόδοσης επιτυγχάνονται ακόμη και σε επιθετικά επιταξιακά περιβάλλοντα. Το αποτέλεσμα είναι ένα προϊόν που τελικά πληροί και υπερβαίνει τις τρέχουσες απαιτητικές απαιτήσεις της βιομηχανίας κατασκευής ημιαγωγών.

Το Semicorex 8 ιντσών EPI Sensceptor είναι κατασκευασμένο από γραφίτη με επικάλυψη SIC που εξισορροπεί τη θερμική αγωγιμότητα, τη μηχανική ακαμψία και τη χημική αδράνεια. Το 8 ιντσών Sensceptor αποτελεί βασικό στοιχείο για εφαρμογές ανάπτυξης επιταξίας υψηλού όγκου λόγω της επιτυχίας του στην παραγωγή σταθερής, καθαρής υποστήριξης δισκίων σε υψηλές θερμοκρασίες με αποτέλεσμα υψηλής απόδοσης, υψηλής ομοιομορφίας επιταξιακής διαδικασιών. Το μέγεθος των 8 ιντσών του Sensceptor EPI εμφανίζεται συχνότερα στον τυπικό εξοπλισμό 8 ιντσών στην αγορά και είναι εναλλάξιμο με τον υπάρχοντα εξοπλισμό πελατών. Στην τυποποιημένη διαμόρφωση του, το EPI Sensceptor είναι εξαιρετικά προσαρμόσιμο.