8 ιντσών δακτύλιος EPI

Το Semicorex 8 ιντσών EPI Top Ring είναι ένα εξειδικευμένο συστατικό των επιταξιακών συστημάτων εναπόθεσης (EPI) που παρέχουν υψηλή απόδοση ως δακτύλιος κορυφαίου καλύμματος στο θάλαμο αντίδρασης. Με έμφαση στη δομική ακεραιότητα και τη θερμική σταθερότητα κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης των ημιαγωγών, ο κορυφαίος δακτύλιος EPI είναι κατασκευασμένος από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλύπτεται με καρβίδιο πυριτίου (SIC) για να αντέξει τη θερμοκρασία και το χημικώς αντιδραστικό περιβάλλον της κατασκευής ημιαγωγών.

Στους επιταξιακούς αντιδραστήρες, ο κορυφαίος δακτύλιος βοηθά στη διατήρηση του περιβάλλοντος δίσκου και παίζει σημαντικό ρόλο στην ομοιομορφία θερμοκρασίας και τη ροή αερίου κατά τη διάρκεια της εναπόθεσης ως μέρος της συναρμολόγησης ευαισθησίας. Η επικάλυψη SIC στο υπόστρωμα γραφίτη παρέχει τον κορυφαίο δακτύλιο EPI με τη θερμική σταθερότητα και το αδρανές περιβάλλον που απαιτείται για την προστασία του πυρήνα του γραφίτη λόγω έκθεσης στις διεργασίες των αερίων κατά την απόδοση του δακτυλίου EPI (υδρογόνο, σιλάνη, κλασιλάνης κ.λπ.). Η σκληρότητα και η αγωγιμότητα του στρώματος SIC ενισχύει την απόδοση του κορυφαίου δακτυλίου EPI, εμποδίζοντας την υποβάθμιση και επιτρέποντας πιο σταθερά στρώματα σε όλο τον κύκλο παραγωγής.

Με μια δέσμευση για ακρίβεια διαστάσεων, συνοχή και επαναληψιμότητα, ο δακτύλιος Top EPI 8 ιντσών κατασκευάζεται με μηχανική ακριβείας. Το υπόστρωμα γραφίτη είναι κατεργασμένο σε αυστηρές ανοχές και θερμικά καθαρισμένο για να διαχωρίσει τις ακαθαρσίες, παρέχοντας ένα καθαρό υπόστρωμα με εξαιρετική καθαρότητα και δύναμη. Η επικάλυψη SIC εφαρμόζεται μέσω της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD), για να σχηματίσει ένα πυκνό, συνεπές και έντονα συνδεδεμένο προστατευτικό στρώμα. Αυτή η διαδικασία ελαχιστοποιεί την παραγωγή σωματιδίων και επιτρέπει στην επικάλυψη να διατηρεί την ακεραιότητα της επιφάνειας κατά τη διάρκεια της εκτεταμένης χρήσης.

Οι κατασκευαστές ημιαγωγών βασίζονται στον κορυφαίο δακτύλιο της EPI για να διατηρήσουν τις παραμέτρους του κρίσιμου θαλάμου και να υποστηρίξουν τα ελάττωμα των ελάττωμα κατά τη διάρκεια της παραγωγής. Η διαμόρφωση έχει σχεδιαστεί για χρήση με κορυφαία συστήματα επεξεργασίας πλακιδίων 8 ιντσών OEM. Οι προσαρμοσμένες επιλογές είναι διαθέσιμες για πάχος, φινίρισμα επιφάνειας και αυλακωτά σχέδια για καλύτερη θερμική διαχείριση ή ακόμα και κατανομή αερίου.

Η συμμόρφωση των ιδιοτήτων του γραφίτη με επικάλυψη SIC για αυτήν την εφαρμογή παίρνει συνδυασμό το καλύτερο των ιδιοτήτων και από τα δύο υλικά. Ο γραφίτης είναι πολύ μηχανικός και έχει αντοχή σε θερμικό σοκ σε συνδυασμό με καρβίδιο πυριτίου που είναι πιο δύσκολο, ανθεκτικό στη διάβρωση και έχει μεγαλύτερη διάρκεια ζωής. Αυτός ο συνδυασμός τελικά σας δίνει ένα κορυφαίο δακτύλιο EPI που είναι αξιόπιστο σε υψηλή θερμοκρασία και εγγυάται ένα καθαρό και σταθερό περιβάλλον επεξεργασίας που μειώνει τα διαστήματα συντήρησης και παρέχει συνολικά ενισχυμένο χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού.

Τα εξαρτήματα γραφίτη διαδραματίζουν έναν απαραίτητο και κρίσιμο ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών. Η ποιότητα του υλικού γραφίτη επηρεάζει σημαντικά την ποιότητα του τελικού προϊόντος. Η συνέπεια της παρτίδας γραφίτη και η ομοιογένεια υλικού ελέγχονται και εγγυώνται σε όλη τη διαδικασία παραγωγής.

1. Παραγωγή μικρής παρτίδας, χρησιμοποιώντας ένα μικρό φούρνο άνθρακα με χωρητικότητα μόνο 50 κυβικών μέτρων.

2. Κάθε κομμάτι υλικού παρακολουθείται και παρακολουθείται.

3. Η παρακολούθηση της θερμοκρασίας σε πολλαπλά σημεία εντός του κλιβάνου εξασφαλίζει ελάχιστες διαφορές θερμοκρασίας.

4. Η παρακολούθηση της θερμοκρασίας σε πολλαπλά σημεία του υλικού εξασφαλίζει ελάχιστες διαφορές θερμοκρασίας.

Ο κορυφαίος δακτύλιος EPI 8 ιντσών από το Semicorex προσφέρει εξαιρετική απόδοση, συνέπεια παρτίδας σε παρτίδα και αποδεδειγμένη αξιοπιστία στο πιο δύσκολο ημιαγωγό πυρίτιο, καρβίδιο πυριτίου ή άλλες διεργασίες επιταξίας ημιαγωγών σύνθετων. Σε κάθε βήμα κατασκευής, παράγουμε προϊόντα με ποιοτικό έλεγχο, πράγμα που σημαίνει ότι κάθε προϊόν που αγοράζεται για τη βιομηχανία ημιαγωγών υπερβαίνει τις προδιαγραφές ποιότητας.

Επιλέξτε το κορυφαίο δακτύλιο EPI 8 ιντσών της Semicorex για την εφαρμογή επιταξίας σας για να επωφεληθείτε από τις δυνατότητες που προσφέρονται μέσω της μηχανικής ακριβείας, των ανώτερων υλικών και της προσαρμογής για την εφαρμογή για τη βελτίωση των αποδόσεων και της απόδοσης της συσκευής.