Πλάκα επικαλυμμένου με SIC

Το Semicorex SIC επικαλυμμένο με πλάκα είναι ένα μηχανικό στοιχείο υψηλής απόδοσης υψηλής απόδοσης ειδικά σχεδιασμένο για επιταξιακό εξοπλισμό ανάπτυξης (EPI), που απαιτεί σταθερά υποστρώματα υψηλής καθαρότητας για τη δημιουργία ταινιών υψηλής ποιότητας. Πρόκειται για έναν πυρήνα γραφίτη υψηλής αντοχής, ομοιόμορφα και πυκνά επικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίου (SIC), επιτυγχάνοντας την απαράμιλλη θερμική και μηχανική αντίσταση του γραφίτη υψηλής αντοχής σε συνδυασμό με τη χημική σταθερότητα και την επιφανειακή ανθεκτικότητα του SIC. Η πλάκα επικαλυμμένου με Semicorex SIC είναι κατασκευασμένο για να διατηρήσει τις ακραίες δυσκολίες των επιταξιακών διεργασιών για τους σύνθετους ημιαγωγούς, συμπεριλαμβανομένων των SIC και GAN.

Ο πυρήνας γραφίτη της πλάκας επικαλυμμένης με SIC διαθέτει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χαμηλή πυκνότητα και ανώτερη αντοχή σε θερμικό σοκ. Η μέτρια χαμηλή θερμική μάζα του πυρήνα γραφίτη ισορροπημένη με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα επιτρέπει την ταχεία κατανομή της θερμότητας ομοιόμορφα σε μια διαδικασία όπου οι κύκλοι θερμοκρασίας λαμβάνουν χώρα με υψηλές ταχύτητες. Το εξωτερικό στρώμα του SIC που εναποτίθεται με εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), προσφέρει ένα προστατευτικό εμπόδιο που αυξάνει τη σκληρότητα, την αντοχή στη διάβρωση και τη χημική αδράνεια, προσφέροντας άμεση αξία στον περιορισμό ή την πρόληψη της παραγωγής σωματιδίων. Αυτή η στερεά στοιχειώδη επιφάνεια σε συνδυασμό με τα φυσικά χαρακτηριστικά της βάσης γραφίτη, εξασφαλίζει ένα περιβάλλον διεργασίας πολύ υψηλής καθαρότητας με πολύ μικρό ή καθόλου κίνδυνο παραγωγής ελαττωμάτων στα επιταξιακά στρώματα.

Η διαστασιακή ακρίβεια και η επιφάνεια της επιφάνειας είναι επίσης βασικά χαρακτηριστικά της πλάκας επικαλυμμένης με SIC. Κάθε πλάκα είναι επεξεργασμένη και επικαλυμμένη με στενές ανοχές προκειμένου να εξασφαλιστεί η ομοιομορφία και η επαναληψιμότητα στην απόδοση της διαδικασίας. Η ομαλή και αδρανής επιφάνεια μειώνει τις θέσεις πυρήνωσης για ανεπιθύμητη εναπόθεση φιλμ και βελτιώνει την ομοιομορφία των πλακιδίων στην επιφάνεια της πλάκας.

Σε επιταξιακούς αντιδραστήρες, η πλάκα επικαλυμμένης με SIC εφαρμόζεται τυπικά ως ευαισθησία, επένδυση ή θερμική ασπίδα για να δώσει δομή και να εκτελέσει ως μέσο μεταφοράς θερμότητας στο δίσκο που επεξεργάζεται. Η σταθερή απόδοση θα επηρεάσει άμεσα την ποιότητα των κρυστάλλων, την απόδοση και την παραγωγικότητα.