Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
|
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
|
Δομή |
|
FCC β φάση |
|
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
|
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
|
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
|
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
|
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
|
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
|
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
|
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Οι υποδοχείς γκοφρετών γραφίτη Semicorex 1x2" είναι τα εξαρτήματα μεταφοράς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί ειδικά για γκοφρέτες 2 ιντσών, τα οποία είναι κατάλληλα για την επιταξιακή διαδικασία των πλακιδίων ημιαγωγών. Επιλέξτε το Semicorex για κορυφαία καθαρότητα υλικού, μηχανική ακρίβειας και απαράμιλλη επαναστατική ικανότητα ανάπτυξης.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι πλάκες γραφίτη με επίστρωση Semicorex SiC είναι φορείς υψηλής καθαρότητας ειδικά σχεδιασμένοι για τις αυστηρές απαιτήσεις της επιταξίας SiC και GaN, χρησιμοποιώντας μια πυκνή επίστρωση καρβιδίου πυριτίου CVD σε ένα ισοστατικό υπόστρωμα γραφίτη για να παρέχουν ένα σταθερό, χημικά αδρανές θερμικό φράγμα για δισκία υψηλής απόδοσης. Η Semicorex παρέχει πιστοποιημένα προϊόντα και υπηρεσίες σε παγκόσμιους πελάτες.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι υποδοχείς Semicorex SiC epi-wafer κατασκευασμένοι από επικαλυμμένο με SiC γραφίτη έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και χημική σταθερότητα σε διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης σε υψηλή θερμοκρασία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει προϊόντα υψηλότερης ποιότητας και την καλύτερη εξυπηρέτηση σε πελάτες παγκοσμίως. Με ισχυρή τεχνική εξειδίκευση και αξιόπιστες κατασκευαστικές δυνατότητες, βοηθάμε τους παγκόσμιους συνεργάτες να επιτύχουν σταθερή απόδοση και μακροπρόθεσμη αξία.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι επιταξικοί υποδοχείς επικαλυμμένοι με SiC Semicorex είναι τα βασικά συστατικά που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών για τη σταθερή υποστήριξη και στερέωση των ημιαγωγών γκοφρετών. Αξιοποιώντας τις ώριμες κατασκευαστικές ικανότητες και τις προηγμένες τεχνολογίες παραγωγής, η Semicorex έχει δεσμευτεί να παρέχει κορυφαία ποιότητα στην αγορά και σε ανταγωνιστικές τιμές επιταξιακούς υποδοχείς επικαλυμμένους με SiC για τους πολύτιμους πελάτες μας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι επικαλυμμένοι με SiC υποδοχείς γραφίτη MOCVD είναι τα βασικά συστατικά που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό εναπόθεσης ατμών μετάλλων-οργανικών χημικών ατμών (MOCVD), οι οποίοι είναι υπεύθυνοι για τη συγκράτηση και τη θέρμανση των υποστρωμάτων πλακιδίων. Με την ανώτερη θερμική διαχείριση, τη χημική αντίσταση και τη σταθερότητα των διαστάσεων τους, οι επικαλυμμένοι με SiC γραφίτη MOCVD υποδοχείς θεωρούνται ως η βέλτιστη επιλογή για υψηλής ποιότητας επιταξία υποστρώματος πλακιδίων.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δίσκος γραφίτη με επίστρωση SiC είναι ένα ημιαγωγικό εξάρτημα αιχμής που παρέχει στα υποστρώματα Si ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας και σταθερή υποστήριξη κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης πυριτίου. Η Semicorex δίνει πάντα ύψιστη προτεραιότητα στη ζήτηση των πελατών, παρέχοντας στους πελάτες λύσεις βασικών εξαρτημάτων που απαιτούνται για την παραγωγή ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης