Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Η ημιτονοειδές φορέα χάραξης με CVD SIC είναι μια προηγμένη λύση υψηλής απόδοσης προσαρμοσμένη σε απαιτητικές εφαρμογές χάραξης ημιαγωγών. Η ανώτερη θερμική σταθερότητα, η χημική αντίσταση και η μηχανική ανθεκτικότητα την καθιστούν ένα βασικό συστατικό στη σύγχρονη κατασκευή πλακιδίων, εξασφαλίζοντας την υψηλή απόδοση, την αξιοπιστία και την αποδοτικότητα κόστους για τους κατασκευαστές ημιαγωγών παγκοσμίως.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ δορυφορική πλάκα Semicorex είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται σε αντιδραστήρες επιταξίας ημιαγωγών, ειδικά σχεδιασμένο για εξοπλισμό Aixtron G5+. Το Semicorex συνδυάζει προηγμένη τεχνογνωσία υλικών με τεχνολογία επικάλυψης αιχμής για την παροχή αξιόπιστων λύσεων υψηλής απόδοσης προσαρμοσμένες για απαιτητικές βιομηχανικές εφαρμογές.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex Planetary Sensceptor είναι ένα συστατικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επικάλυψη SIC, σχεδιασμένη για αντιδραστήρες Aixtron G5+ για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, χημική αντίσταση και επιταξική ανάπτυξη επιταξιακής στρώσης.***
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SIC Coating Flat Part είναι ένα συστατικό γραφίτη που επικαλείται SIC που είναι απαραίτητο για την ομοιόμορφη αγωγιμότητα ροής αέρα στη διαδικασία επιταξίας SIC. Το Semicorex προσφέρει λύσεις με ακρίβεια με ακρίβεια με απαράμιλλη ποιότητα, εξασφαλίζοντας τη βέλτιστη απόδοση για την κατασκευή ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο συστατικό Semicorex SIC επικάλυψης είναι ένα βασικό υλικό που έχει σχεδιαστεί για να ικανοποιεί τις απαιτητικές απαιτήσεις της διαδικασίας επιταξίας SIC, ένα κεντρικό στάδιο στην κατασκευή ημιαγωγών. Διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στη βελτιστοποίηση του περιβάλλοντος ανάπτυξης για κρυστάλλους καρβιδίου πυριτίου (SIC), συμβάλλοντας σημαντικά στην ποιότητα και την απόδοση του τελικού προϊόντος.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τμήμα Semicorex LPE είναι ένα συστατικό επικαλυμμένο με SIC ειδικά σχεδιασμένο για τη διαδικασία επιταξίας SIC, προσφέροντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χημική αντίσταση για να εξασφαλιστεί αποτελεσματική λειτουργία σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και σκληρά. Επιλέγοντας προϊόντα Semicorex, επωφελούνται από υψηλής ακρίβειας, μακροχρόνιες προσαρμοσμένες λύσεις που βελτιστοποιούν τη διαδικασία ανάπτυξης επιταξίας SIC και ενισχύουν την αποτελεσματικότητα της παραγωγής.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης