Ο δακτύλιος εστίασης ή οι δακτύλιοι ακμής έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της πλακέτας.
Οι δακτύλιοι εστίασης Semicorex είναι επικαλυμμένοι με καρβίδιο πυριτίου με χρήση χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) παρέχοντας ανώτερη αντίσταση στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντίσταση, τα οποία είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα στη διαδικασία χάραξης πλάσματος ή ξηρής χάραξης .