Ο δακτύλιος εστίασης ή οι δακτύλιοι ακμής έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της πλακέτας.
Οι δακτύλιοι εστίασης Semicorex είναι επικαλυμμένοι με καρβίδιο πυριτίου με χρήση χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) παρέχοντας ανώτερη αντίσταση στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντίσταση, τα οποία είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα στη διαδικασία χάραξης πλάσματος ή ξηρής χάραξης .
Οι ανθεκτικοί δακτύλιοι εστίασης Semicorex για επεξεργασία ημιαγωγών έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν στα ακραία περιβάλλοντα των θαλάμων χάραξης πλάσματος που χρησιμοποιούνται στην επεξεργασία ημιαγωγών. Οι δακτύλιοι εστίασής μας είναι κατασκευασμένοι από γραφίτη υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένο με μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Η επίστρωση SiC έχει υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και τη θερμότητα, καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Εφαρμόζουμε SiC σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD) για να βελτιώσουμε τη διάρκεια ζωής των δακτυλίων εστίασής μας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος εστίασης επεξεργασίας πλάσματος Semicorex είναι ειδικά σχεδιασμένος για να ανταποκρίνεται στις υψηλές απαιτήσεις της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος στη βιομηχανία ημιαγωγών. Τα προηγμένα, υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένα εξαρτήματά μας με καρβίδιο πυριτίου είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα και είναι κατάλληλα για χρήση σε διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων στρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγών επιταξίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι προηγμένοι δακτύλιοι εστίασης SiC υψηλής καθαρότητας Semicorex είναι κατασκευασμένοι για να αντέχουν στα ακραία περιβάλλοντα σε θαλάμους χάραξης πλάσματος (ή ξηρής χάραξης). Εστιάζουμε σε βιομηχανίες ημιαγωγών, όπως στρώματα καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγούς επιταξίας. Τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτουν πολλές από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης