Ο δακτύλιος εστίασης ή οι δακτύλιοι ακμής έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της πλακέτας.
Οι δακτύλιοι εστίασης Semicorex είναι επικαλυμμένοι με καρβίδιο πυριτίου με χρήση χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) παρέχοντας ανώτερη αντίσταση στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντίσταση, τα οποία είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα στη διαδικασία χάραξης πλάσματος ή ξηρής χάραξης .
Το Semicorex SiC Focus Ring είναι ένα συστατικό δακτυλίου από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας που έχει σχεδιαστεί για τη βελτιστοποίηση της κατανομής πλάσματος και την ομοιομορφία της διεργασίας πλακιδίων στην κατασκευή ημιαγωγών. Η επιλογή Semicorex σημαίνει διασφάλιση σταθερής ποιότητας, προηγμένης μηχανικής υλικών και αξιόπιστης απόδοσης που εμπιστεύονται κορυφαίοι κατασκευαστές ημιαγωγών παγκοσμίως.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης