Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
|
Έργα |
Παράμετροι |
|
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
|
Εκπομπή |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
|
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
|
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
|
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Το Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth είναι ένα πολύτιμο κατεργασμένο εξάρτημα που βρίσκεται στην εισαγωγή αέρα στην επιταξιακή διαδικασία σε ημιαγωγούς. Η Semicorex είναι μια κορυφαία εταιρεία που ειδικεύεται στην τεχνολογία επικάλυψης CVD TaC στην Κίνα και εξάγει προϊόντα σε όλο τον κόσμο.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ βάση κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TaC είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης ειδικά σχεδιασμένο για το περιβάλλον ανάπτυξης υλικών ημιαγωγών. Ως κορυφαίος κατασκευαστής στηριγμάτων κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TTaC, η semicorex σας προσφέρει αποτελεσματικές λύσεις βασικών εξαρτημάτων στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών υψηλής τεχνολογίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Pedestal Supporter είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα σχεδιασμένο για επιταξιακά συστήματα ανάπτυξης, ειδικά προσαρμοσμένο για τη στήριξη των βάθρων αντιδραστήρων και τη βελτιστοποίηση της κατανομής ροής αερίου διεργασίας. Το Semicorex προσφέρει μια λύση υψηλής απόδοσης, σχεδιασμένη με ακρίβεια, που συνδυάζει ανώτερη δομική ακεραιότητα, θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή—εξασφαλίζοντας σταθερή, αξιόπιστη απόδοση σε προηγμένες εφαρμογές επιταξίας.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex CVD TaC Coated Susceptor είναι μια premium λύση σχεδιασμένη για επιταξιακές διεργασίες MOCVD, παρέχοντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, καθαρότητα και αντοχή στη διάβρωση κάτω από ακραίες συνθήκες διεργασίας. Η Semicorex εστιάζει στην τεχνολογία επίστρωσης σχεδιασμένη με ακρίβεια που εξασφαλίζει σταθερή ποιότητα γκοφρέτας, εκτεταμένη διάρκεια ζωής εξαρτημάτων και αξιόπιστη απόδοση σε κάθε κύκλο παραγωγής.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤα Semicorex TaC Coated Crucibles είναι δοχεία υψηλής απόδοσης σχεδιασμένα για εφαρμογές ακραίων θερμοκρασιών, κατάλληλα τόσο για τήξη μετάλλων όσο και για προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών. Η επιλογή Semicorex σημαίνει πρόσβαση σε τεχνολογία αιχμής επίστρωσης και τεχνογνωσία μηχανικής που προσφέρουν εξαιρετική καθαρότητα, ανθεκτικότητα και σταθερότητα στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Planetary Plate είναι ένα εξάρτημα υψηλής ακρίβειας σχεδιασμένο για επιταξιακή ανάπτυξη MOCVD, που διαθέτει πλανητική κίνηση με πολλαπλές θήκες πλακιδίων και βελτιστοποιημένο έλεγχο ροής αερίου. Η επιλογή Semicorex σημαίνει πρόσβαση στην προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης και την τεχνογνωσία της μηχανικής που προσφέρουν εξαιρετική αντοχή, καθαρότητα και σταθερότητα διεργασιών για τη βιομηχανία ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης