Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
|
Έργα |
Παράμετροι |
|
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
|
Εκπομπή |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
|
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
|
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
|
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Οι δακτύλιοι Semicorex Porous Carbide Tantalum Rings είναι πυρίμαχα συστατικά υψηλής απόδοσης ειδικά σχεδιασμένα για τη διαδικασία μεταφοράς φυσικού ατμού (PVT) της ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου (SiC), με μονολιθική συντηγμένη δομή που προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και ελεγχόμενη διαπερατότητα αερίου.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι υποδοχείς πλακιδίων γραφίτη με επίστρωση Semicorex TaC είναι τα εξαρτήματα αιχμής που εφαρμόζονται τυπικά για τη σταθερή στήριξη και τοποθέτηση των πλακών ημιαγωγών κατά τη διάρκεια των προηγμένων επιταξιακών διεργασιών ημιαγωγών. Αξιοποιώντας προηγμένες τεχνολογίες παραγωγής και ώριμη εμπειρία κατασκευής, η Semicorex δεσμεύεται να προμηθεύει τους εξατομικευμένους υποδοχείς γκοφρετών γραφίτη με επίστρωση TaC με κορυφαία ποιότητα στην αγορά για τους πολύτιμους πελάτες μας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤα Semicorex CVD TaC Coated Susceptors είναι υψηλής απόδοσης υποδοχείς γραφίτη με πυκνή επίστρωση TaC, σχεδιασμένα να παρέχουν εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και αντοχή στη διάβρωση για απαιτητικές διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης SiC. Το Semicorex συνδυάζει την προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης CVD με τον αυστηρό έλεγχο ποιότητας για να παρέχει μακράς διαρκείας, χαμηλής μόλυνσης υποδοχείς που εμπιστεύονται οι παγκόσμιοι κατασκευαστές SiC epi.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι δακτύλιοι οδηγοί Semicorex επικαλυμμένοι με καρβίδιο τανταλίου είναι τα εξαρτήματα δακτυλίου υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό ανάπτυξης κρυστάλλων ημιαγωγών. Είναι ειδικά σχεδιασμένα για να δημιουργούν μια κατάλληλη κλίση θερμοκρασίας και σταθερό περιβάλλον ροής αέρα κατά την ανάπτυξη των κρυστάλλων. Επιλέγοντας δακτυλίους οδηγούς με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου Semicorex, θα επωφεληθείτε από την απαράμιλλη τεχνολογία επίστρωσης και μια εξαιρετικά αποδοτική και σταθερή εμπειρία παραγωγής.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Graphite Crucible κατασκευάζεται με τον γραφίτη επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου μέσω της μεθόδου CVD, που είναι το καταλληλότερο υλικό που εφαρμόζεται στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Η Semicorex είναι μια εταιρεία που ειδικεύεται σταθερά στην κεραμική επίστρωση CVD και προσφέρει τις καλύτερες λύσεις υλικών στη βιομηχανία ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth είναι ένα πολύτιμο κατεργασμένο εξάρτημα που βρίσκεται στην εισαγωγή αέρα στην επιταξιακή διαδικασία σε ημιαγωγούς. Η Semicorex είναι μια κορυφαία εταιρεία που ειδικεύεται στην τεχνολογία επικάλυψης CVD TaC στην Κίνα και εξάγει προϊόντα σε όλο τον κόσμο.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης