Κίνα Εξαρτήματα ημιαγωγών Manufacturers, Suppliers, Factory

Ως επαγγελματική κατασκευή, θα θέλαμε να σας παρέχουμε εξαρτήματα ημιαγωγών. Η Semicorex είναι ο συνεργάτης σας για τη βελτίωση της επεξεργασίας ημιαγωγών. Οι επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου μας είναι πυκνές, υψηλές θερμοκρασίες και ανθεκτικές στα χημικά, οι οποίες χρησιμοποιούνται συχνά σε ολόκληρο τον κύκλο κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας γκοφρετών και πλακιδίων ημιαγωγών και της κατασκευής ημιαγωγών.

Τα εξαρτήματα με επικάλυψη SiC υψηλής καθαρότητας είναι ζωτικής σημασίας για τις διεργασίες στον ημιαγωγό. Η προσφορά μας κυμαίνεται από αναλώσιμα γραφίτη για θερμές ζώνες ανάπτυξης κρυστάλλων (θερμαντήρες, υποδοχείς χωνευτηρίου, μόνωση), έως εξαρτήματα γραφίτη υψηλής ακρίβειας για εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων, όπως υποδοχείς γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου για Epitaxy ή MOCVD.

Πλεονεκτήματα για διεργασίες ημιαγωγών

Οι φάσεις εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η επιταξία ή το MOCVD, ή η επεξεργασία χειρισμού πλακιδίων, όπως η χάραξη ή η εμφύτευση ιόντων, πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Η Semicorex παρέχει κατασκευή γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας που παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και ανθεκτική χημική αντοχή, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi.

Καπάκια θαλάμου â
Τα καπάκια θαλάμου που χρησιμοποιούνται για την ανάπτυξη κρυστάλλων και την επεξεργασία της γκοφρέτας πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό.

End Effector â
Ο τελικός τελεστής είναι το χέρι του ρομπότ που μετακινεί τις γκοφρέτες ημιαγωγών μεταξύ των θέσεων στον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων και των φορέων.

Δακτύλιοι εισόδου â
Δακτύλιος εισαγωγής αερίου με επικάλυψη SiC από εξοπλισμό MOCVD Η ανάπτυξη ένωσης έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, η οποία έχει μεγάλη σταθερότητα σε ακραία περιβάλλοντα.

Δαχτυλίδι εστίασης â
Η Semicorex παρέχει Ο δακτύλιος εστίασης με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου είναι πραγματικά σταθερός για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Τσοκ γκοφρέτας â
Τα εξαιρετικά επίπεδα κεραμικά τσοκ γκοφρέτας κενού Semicorex είναι επικαλυμμένα με SiC υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται στη διαδικασία χειρισμού γκοφρέτας.