Κίνα Ειδικός γραφίτης Manufacturers, Suppliers, Factory

Το Specialty Graphite είναι ένα είδος τεχνητού γραφίτη που επεξεργάζεται. Είναι ένα σημαντικό υλικό που είναι απαραίτητο σε όλες τις πτυχές της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, συμπεριλαμβανομένης της ανάπτυξης κρυστάλλων, της εμφύτευσης ιόντων, της επιταξίας κ.λπ.

1.

Το καρβίδιο του πυριτίου, ως υλικό ημιαγωγού τρίτης γενιάς, χρησιμοποιείται ευρέως σε νέα ενεργειακά οχήματα, 5G επικοινωνίες και σε άλλα πεδία. Στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων 6 ιντσών και 8 ιντσών, ο ισοστατικός γραφίτης χρησιμοποιείται κυρίως για την παραγωγή των ακόλουθων βασικών στοιχείων:

Graphite Crucible: Αυτό μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη σύνθεση της πρώτης ύλης σκόνης SIC και επίσης να βοηθήσει στην ανάπτυξη κρυστάλλων σε υψηλές θερμοκρασίες. Η υψηλή καθαρότητα, η αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας και η αντοχή σε θερμικό σοκ εξασφαλίζουν ένα σταθερό περιβάλλον ανάπτυξης κρυστάλλων.

Θερμαντήρας γραφίτη: Αυτό παρέχει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, εξασφαλίζοντας την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC υψηλής ποιότητας.

ΜΟΝΟΓΡΑΦΙΚΟ ΣΩΛΗΝΟ: Αυτό διατηρεί την ομοιομορφία της θερμοκρασίας εντός του κλιβάνου ανάπτυξης κρυστάλλων και μειώνει την απώλεια θερμότητας.

2. Εμπιστοποίηση ιόντων

Η εμφύτευση ιόντων αποτελεί βασική διαδικασία στην κατασκευή ημιαγωγών. Ο ισοστατικός γραφίτης χρησιμοποιείται κυρίως για την κατασκευή των ακόλουθων στοιχείων σε ιερούς ιόντων:

Graphite Getter: Αυτό απορροφά τα ιόντα ακαθαρσίας στη δέσμη ιόντων, εξασφαλίζοντας την καθαρότητα των ιόντων.

Δαχτυλίδι εστίασης γραφίτη: Αυτό επικεντρώνει τη δέσμη ιόντων, βελτιώνοντας την ακρίβεια και την αποτελεσματικότητα του εμφυτεύματος ιόντων. Δίσκοι υποστρώματος γραφίτη: Χρησιμοποιούνται για την υποστήριξη των δισκίων πυριτίου και τη διατήρηση της σταθερότητας και της συνέπειας κατά τη διάρκεια της εμφύτευσης ιόντων.

3. Διαδικασία επιταξίας

Η διαδικασία επιταξίας είναι ένα κρίσιμο βήμα στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Ο ισοστατικά πατημένο γραφίτη χρησιμοποιείται κυρίως για την κατασκευή των ακόλουθων εξαρτημάτων σε φούρνους επιταξίας:

Δίσκοι γραφίτη και ευαισθητοποιητές: Χρησιμοποιούνται για την υποστήριξη δισκίων πυριτίου, παρέχοντας σταθερή υποστήριξη και ομοιόμορφη αγωγιμότητα θερμότητας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξίας.

4. Άλλες εφαρμογές παραγωγής ημιαγωγών

Ο ισοστατικά συμπιεσμένος γραφίτης χρησιμοποιείται επίσης ευρέως στις ακόλουθες εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών:

Διαδικασία χάραξης: Χρησιμοποιείται για την κατασκευή ηλεκτροδίων γραφίτη και προστατευτικά εξαρτήματα για τα χαραγμένα. Η αντοχή της διάβρωσης και η υψηλή καθαρότητα εξασφαλίζουν σταθερότητα και ακρίβεια στη διαδικασία χάραξης.

Χημική εναπόθεση ατμών (CVD): Χρησιμοποιείται για την κατασκευή δίσκων γραφίτη και θερμαντήρες μέσα σε κλιβάνους CVD. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και η αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας εξασφαλίζουν ομοιόμορφη εναπόθεση λεπτού φιλμ.

Δοκιμές συσκευασίας: Χρησιμοποιείται για την κατασκευή δοκιμαστικών φωτιστικών και δίσκων μεταφορέων. Η υψηλή ακρίβεια και η χαμηλή μόλυνση εξασφαλίζουν ακριβή αποτελέσματα των δοκιμών.

Πλεονεκτήματα των εξαρτημάτων γραφίτη

Υψηλή καθαρότητα:

Χρησιμοποιώντας ισοστατικά συμπιεσμένο υλικό γραφίτη με εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, πληροί τις αυστηρές απαιτήσεις καθαρότητας υλικού της κατασκευής ημιαγωγών. Ο φούρνος καθαρισμού της εταιρείας μπορεί να καθαρίσει τον γραφίτη σε κάτω από 5ppm.

Υψηλή ακρίβεια:

Με προηγμένο εξοπλισμό επεξεργασίας και ώριμη τεχνολογία επεξεργασίας, διασφαλίζει ότι η ακρίβεια και οι ανοχές της μορφής και της θέσης του προϊόντος φτάνουν στο επίπεδο των μικρών.

Υψηλή απόδοση:

Το προϊόν έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, αντοχή στην ακτινοβολία, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και άλλες ιδιότητες, ικανοποιώντας τις διάφορες σκληρές συνθήκες εργασίας της παραγωγής ημιαγωγών.

Προσαρμοσμένη υπηρεσία:

Οι προσαρμοσμένες υπηρεσίες σχεδιασμού και επεξεργασίας προϊόντων μπορούν να παρέχονται σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών για να καλύψουν τις ανάγκες διαφορετικών σεναρίων εφαρμογής.

Τύποι προϊόντων γραφίτη

(1) Ισοστατικός γραφίτης
Τα ισοστατικά προϊόντα γραφίτη παράγονται από ψυχρό ισοστατικό πιεστικό. Σε σύγκριση με άλλες μεθόδους σχηματισμού, τα χωνευτήρια που παράγονται από αυτή τη διαδικασία έχουν εξαιρετική σταθερότητα. Τα προϊόντα γραφίτη που απαιτούνται για τους απλούς κρυστάλλους SIC είναι όλα μεγάλα σε μέγεθος, γεγονός που θα οδηγήσει σε ανομοιογενή καθαρότητα στην επιφάνεια και στο εσωτερικό των προϊόντων γραφίτη, τα οποία δεν μπορούν να πληρούν τις απαιτήσεις χρήσης. Προκειμένου να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις βαθιάς καθαρισμού των προϊόντων γραφίτη μεγάλου μεγέθους που απαιτούνται για τους ενιαίους κρυστάλλους SIC, θα πρέπει να υιοθετηθεί μια μοναδική διαδικασία καθαρισμού παλμών υψηλής θερμοκρασίας για την επίτευξη βαθύ και ομοιόμορφου καθαρισμού των προϊόντων γραφίτη μεγάλου μεγέθους ή ειδικού σχήματος, έτσι ώστε η καθαρότητα της επιφάνειας του προϊόντος και του πυρήνα να ικανοποιεί τις απαιτήσεις χρήσης.

(2) πορώδες γραφίτη
Ο πορώδης γραφίτης είναι ένας τύπος γραφίτη με υψηλό πορώδες και χαμηλή πυκνότητα. Στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SIC, ο πορώδης γραφίτης διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στη βελτίωση της ομοιομορφίας μεταφοράς μάζας, μειώνοντας τον ρυθμό εμφάνισης της μεταβολής της φάσης και τη βελτίωση του κρυσταλλικού σχήματος.
Η χρήση του πορώδους γραφίτη βελτιώνει την ομοιομορφία θερμοκρασίας και θερμοκρασίας της περιοχής πρώτης ύλης, αυξάνει τη διαφορά αξονικής θερμοκρασίας στο χωνευτήριο και έχει επίσης μια ορισμένη επίδραση στην αποδυνάμωση της ανακρυστάλλωσης της πρώτης ύλης. Στον θάλαμο ανάπτυξης, ο πορώδης γραφίτης βελτιώνει τη σταθερότητα της ροής του υλικού σε όλη τη διαδικασία ανάπτυξης, αυξάνει τον λόγο C/Si της περιοχής ανάπτυξης, συμβάλλει στη μείωση της πιθανότητας αλλαγής φάσης και ταυτόχρονα ο πορώδης γραφίτης παίζει επίσης ρόλο στη βελτίωση της διασύνδεσης κρυστάλλου.

(3) αισθητή
Η μαλακή αίσθηση και η σκληρή αισθάνθηκαν και οι δύο παίζουν το ρόλο των σημαντικών θερμικών υλικών μόνωσης στην ανάπτυξη των κρυστάλλων SIC και των επιταξιακών δεσμών.

(4) Γραφίτη φύλλο
Το χαρτί γραφίτη είναι ένα λειτουργικό υλικό που κατασκευάζεται από γραφίτη νιφάδων υψηλού άνθρακα μέσω χημικής επεξεργασίας και κύλισης υψηλής θερμοκρασίας. Έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα, ηλεκτρική αγωγιμότητα, ευελιξία και αντοχή στη διάβρωση.

(5) σύνθετα υλικά
Το θερμικό πεδίο άνθρακα-άνθρακα είναι ένα από τα αναλώσιμα πυρήνα στη φωτοβολταϊκή παραγωγή μονού κρυστάλλου.

Παραγωγή ημικόρου

Το Semicorex κάνει γραφίτη με μεθόδους παραγωγής μικρής παρτίδας. Η παραγωγή μικρής παρτίδας καθιστά τα προϊόντα πιο ελεγχόμενα. Ολόκληρη η διαδικασία ελέγχεται από προγραμματιζόμενους λογικούς ελεγκτές (PLCs), καταγράφηκαν τα λεπτομερή δεδομένα διεργασίας, επιτρέποντας την πλήρη ανιχνευσιμότητα του κύκλου ζωής.

Κατά τη διάρκεια ολόκληρης της διαδικασίας ψησίματος, η συνέπεια που επιτυγχάνεται σε αντίσταση σε διάφορες θέσεις και ο σφιχτός έλεγχος θερμοκρασίας που διατηρείται. Αυτό εξασφαλίζει την ομοιογένεια και την αξιοπιστία των υλικών γραφίτη.

Το Semicorex χρησιμοποιεί πλήρως ισοστατική τεχνολογία, η οποία είναι διαφορετική από τους άλλους προμηθευτές. Σημαίνει ότι ο γραφίτης είναι εξαιρετικά ομοιόμορφος και αποδεικνύεται ιδιαίτερα σημαντικός στις επιταξιακές διαδικασίες. Διεξήχθησαν οι ολοκληρωμένες δοκιμές ομοιομορφίας υλικού, συμπεριλαμβανομένης της πυκνότητας, της αντίστασης, της σκληρότητας, της αντοχής της κάμψης και της αντοχής σε διαφορετικά δείγματα.