Τα καπάκια θαλάμου χρησιμοποιούνται για τη δημιουργία ενός καθαρού, αδρανούς και προστατευμένου περιβάλλοντος στους θαλάμους εναπόθεσης, έτσι ώστε να εκτίθενται σε πλάσμα και υψηλή θερμοκρασία κατά τη διάρκεια των διεργασιών εναπόθεσης ή χάραξης. Τα καπάκια θαλάμου Semicorex είναι ανθεκτικά κεραμικά εξαρτήματα επικαλυμμένα με καρβίδιο του πυριτίου χρησιμοποιώντας τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), εξαιρετικά για να αντέχουν σε αυτά τα δύσκολα περιβάλλοντα.