Τα καπάκια θαλάμου χρησιμοποιούνται για τη δημιουργία ενός καθαρού, αδρανούς και προστατευμένου περιβάλλοντος στους θαλάμους εναπόθεσης, έτσι ώστε να εκτίθενται σε πλάσμα και υψηλή θερμοκρασία κατά τη διάρκεια των διεργασιών εναπόθεσης ή χάραξης. Τα καπάκια θαλάμου Semicorex είναι ανθεκτικά κεραμικά εξαρτήματα επικαλυμμένα με καρβίδιο του πυριτίου χρησιμοποιώντας τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), εξαιρετικά για να αντέχουν σε αυτά τα δύσκολα περιβάλλοντα.
Το Semicorex SIC καπάκι είναι ένα συστατικό καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που σχεδιάστηκε για ακραία περιβάλλοντα επεξεργασίας ημιαγωγών. Η επιλογή του Semicorex σημαίνει την εξασφάλιση της απαράμιλλης ποιότητας υλικού, της μηχανικής ακριβείας και των προσαρμοσμένων λύσεων που εμπιστεύονται οι κορυφαίοι κατασκευαστές ημιαγωγών παγκοσμίως.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης