Κίνα Κεφαλή ντους Manufacturers, Suppliers, Factory

Η κεφαλή ντους SiC (καρβίδιο του πυριτίου) είναι ένα εξειδικευμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε διάφορες βιομηχανικές διεργασίες, ιδιαίτερα στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών. Έχει σχεδιαστεί για να κατανέμει και να απελευθερώνει τα αέρια διεργασίας ομοιόμορφα και με ακρίβεια κατά τη διάρκεια των διεργασιών εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και επιταξιακής ανάπτυξης.

Η κεφαλή ντους έχει σχήμα δίσκου ή πλάκας με πολλαπλές ομοιόμορφα κατανεμημένες τρύπες ή ακροφύσια στην επιφάνειά της. Αυτές οι οπές χρησιμεύουν ως έξοδοι για τα αέρια διεργασίας, επιτρέποντάς τους να εγχυθούν στον θάλαμο διεργασίας ή στον θάλαμο αντίδρασης. Το μέγεθος, το σχήμα και η κατανομή των οπών μπορεί να ποικίλλει ανάλογα με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις εφαρμογής και διαδικασίας.

Ένα από τα βασικά πλεονεκτήματα της χρήσης μιας κεφαλής ντους SiC είναι η εξαιρετική θερμική της αγωγιμότητα. Αυτή η ιδιότητα επιτρέπει την αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας και την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας σε όλη την επιφάνεια της κεφαλής ντους, αποτρέποντας τα καυτά σημεία και διασφαλίζοντας συνεπείς συνθήκες διαδικασίας. Η βελτιωμένη θερμική αγωγιμότητα επιτρέπει επίσης την ταχεία ψύξη της κεφαλής ντους μετά τη διαδικασία, ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας και αυξάνοντας τη συνολική παραγωγικότητα.

Οι κεφαλές ντους SiC είναι εξαιρετικά ανθεκτικές και ανθεκτικές στη φθορά, ακόμη και υπό παρατεταμένη έκθεση σε διαβρωτικά αέρια και υψηλές θερμοκρασίες. Αυτή η μακροζωία μεταφράζεται σε εκτεταμένα διαστήματα συντήρησης και μειωμένο χρόνο διακοπής λειτουργίας του εξοπλισμού, με αποτέλεσμα την εξοικονόμηση κόστους και τη βελτιωμένη αξιοπιστία της διαδικασίας.

Εκτός από τη στιβαρότητά τους, οι κεφαλές ντους SiC προσφέρουν εξαιρετικές δυνατότητες διανομής αερίου. Τα με ακρίβεια σχεδιασμένα σχέδια και διαμορφώσεις οπών εξασφαλίζουν ομοιόμορφη ροή και κατανομή αερίου στην επιφάνεια του υποστρώματος, προάγοντας τη σταθερή εναπόθεση μεμβράνης και τη βελτιωμένη απόδοση της συσκευής. Η ομοιόμορφη κατανομή αερίου βοηθά επίσης στην ελαχιστοποίηση των διακυμάνσεων στο πάχος του φιλμ, τη σύνθεση και άλλες κρίσιμες παραμέτρους, συμβάλλοντας στον βελτιωμένο έλεγχο και απόδοση της διαδικασίας.

Η Semicorex προσφέρει μια κεφαλή ντους με ημιαγωγό πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο του πυριτίου χαμηλής ειδικής αντίστασης.  Έχουμε τη δυνατότητα να προσαρμόζουμε μηχανικούς και να προμηθεύουμε προηγμένα κεραμικά υλικά χρησιμοποιώντας μια ποικιλία μοναδικών δυνατοτήτων.