Φορέας γραφίτη για επιταξιακούς αντιδραστήρες

Ο μεταφορέας γραφίτη Semicorex για επιταξιακούς αντιδραστήρες είναι ένα μηχανικό στοιχείο για την επιταξιακή εναπόθεση για την κατασκευή ημιαγωγών. Αυτός ο φορέας γραφίτη είναι κατασκευασμένος από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και επικαλύπτεται ομοιόμορφα με SIC. Αυτός ο μεταφορέας έρχεται με πολλά πλεονεκτήματα που μειώνουν την ευθύνη, τη φθορά και τη δάκρυ και την καλύτερη χημική σταθερότητα όταν βρίσκονται σε διαβρωτικά περιβάλλοντα και επίσης σε υψηλές θερμοκρασίες. Το πυκνό μικρο -πορώδες του πυθμένα στην κάτω επιφάνεια παρέχει ομοιόμορφες κατανομές αερίου σε όλη την επιφάνεια του δίσκου κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης που πρέπει να είναι αρκετά ακριβές ώστε να παράγουν στρώματα ελεύθερων κρυστάλλων.

Ο φορέας επικαλυμμένης με SIC επικεντρώνεται σε οριζόντιους ή κάθετους επιταξιακούς αντιδραστήρες, είτε παρτίδα είτε μεμονωμένο δίσκο. Η επίστρωση καρβιδίου πυριτίου προστατεύει τον γραφίτη, τα ονόματα ED βελτιώνει την αντίσταση στη χάραξη, είναι ανθεκτική στην οξείδωση και επίσης το θερμικό σοκ σε σύγκριση με τον μη επικαλυμμένο γραφίτη που η επανάσταση των χειριστών προσέγγισης πρέπει να επενδύσει/επενδύσει χρησιμοποιώντας μνημειώδη χρόνο που σπαταλάται καθιστώντας εκτεταμένη συντήρηση/αντικατάσταση με τον φορέα με λιγότερο παρεμβατική διάρκεια ζωής σε κάθε φάση του θερμικού κύκλου. επιταχύνοντας τη συντήρηση από τον κάδο ή τα κατεστραμμένα αξιόπιστα πολυμερή RK με δυνατότητα μεταφορέα με ίσως αντικατασταθεί μία φορά ως οτιδήποτε άλλο. Για να μεγιστοποιήσετε τις επιχειρησιακές αποτελεσματικότητες αντί των προγεννητικών ή ανά προγραμματισμένη συντήρηση.

Το υπόστρωμα γραφίτη βάσης κατασκευάζεται από εξαιρετικά λεπτό σιτάρι, υλικό υψηλής πυκνότητας, παρέχοντας ενσωματωμένη μηχανική σταθερότητα και σταθερότητα διαστάσεων υπό ακραία θερμική φόρτωση. Μια σταθερή, ακριβής επικάλυψη SIC μπορεί να προστεθεί στο στρώμα άνθρακα που χρησιμοποιεί χημική εναπόθεση ατμών (CVD), η οποία μαζί παρέχει μια υψηλής πυκνότητας, ομαλή, αιχμηρή και ακανόνιστη στρώση με ισχυρό επιφανειακό δεσμό. Αυτό μπορεί να σημαίνει καλή συμβατότητα με τα αέρια διεργασιών και την κατάσταση του αντιδραστήρα, καθώς και με τη μείωση της μόλυνσης και λιγότερα σωματίδια που μπορούν να επηρεάσουν την απόδοση του δισκίου.

Η θέση, η απόσταση και η δομή στο κάτω μέρος του φορέα σχεδιάζονται για την προώθηση της αποτελεσματικότερης και ομοιόμορφης ροής αερίου από τη βάση του αντιδραστήρα μέσω των διατρήσεων του γραφίτη φορέα στις πετρώσεις πάνω από αυτό. Μια ομοιόμορφη ροή αερίου από τη βάση του αντιδραστήρα μπορεί να μεταβάλει σημαντικά τον έλεγχο της διαδικασίας του πάχους του στρώματος και του ντόπινγκ σε φορείς γραφίτη για επιταξιακές διεργασίες ανάπτυξης, ειδικά σε ημιαγωγούς αέσης, όπως το SIC ή το GAN όπου η ακρίβεια και η επαναληψιμότητα είναι κρίσιμες. Επιπλέον, η προδιαγραφή της πυκνότητας διάτρησης και του σχεδίου είναι εξαιρετικά προσαρμόσιμη, που ορίζεται από το σχεδιασμό του αντιδραστήρα κάθε εταιρείας και η δομή διάτρησης βασίζεται στις προδιαγραφές της διαδικασίας.

Οι μεταφορείς γραφίτη Semicorex σχεδιάζονται και κατασκευάζονται με τις ακαμψίες του περιβάλλοντος της επιταξιακής διαδικασίας. Το Semicorex προσφέρει προσαρμογή για όλα τα μεγέθη, τα μοτίβα των οπών και τα επικαλυμμένα πάχη για να ενσωματωθούν απρόσκοπτα στον υπάρχοντα εξοπλισμό σας. Η εσωτερική μας ικανότητα κατασκευής μεταφορέων και ο απαιτητικός έλεγχος ποιότητας εξασφαλίζουν ακριβείς, επαναλαμβανόμενες επιδόσεις, λύσεις υψηλής καθαρότητας και αξιοπιστία που απαιτείται από τους σημερινούς κατασκευαστές ημιαγωγών.