Οι υποδοχείς κάννης είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως LPE, MOCVD. Το Semicorex εφαρμόζει καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), η οποία καθιστά το υλικό ποιότητας ημιαγωγού με εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντοχή και αντοχή στη φθορά, καθιστώντας τα ιδανικά για χρήση σε υψηλές θερμοκρασιακές διαδικασίες.
● Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
● Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και χημική αντοχή
● Υψηλή θερμική ομοιομορφία
● Εξαιρετική αντοχή στη φθορά