Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Το Semicorex Silicon Pedestal, ένα συχνά παραβλέπεται αλλά εξαιρετικά σημαντικό συστατικό, παίζει ζωτικό ρόλο στην επίτευξη ακριβών και επαναλαμβανόμενων αποτελεσμάτων στις διαδικασίες διάχυσης και οξείδωσης ημιαγωγών. Η εξειδικευμένη πλατφόρμα, πάνω στην οποία στηρίζονται τα σκάφη πυριτίου σε κλιβάνους υψηλής θερμοκρασίας, προσφέρει μοναδικά πλεονεκτήματα που συμβάλλουν άμεσα στη βελτιωμένη ομοιομορφία της θερμοκρασίας, στη βελτιωμένη ποιότητα πλακιδίων και, τελικά, στην ανώτερη απόδοση της συσκευής ημιαγωγών.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex Silicon Annealing Boat, σχολαστικά σχεδιασμένο για το χειρισμό και την επεξεργασία πλακών πυριτίου, παίζει καθοριστικό ρόλο στην επίτευξη συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης. Τα μοναδικά σχεδιαστικά χαρακτηριστικά και οι ιδιότητες του υλικού το καθιστούν απαραίτητο για κρίσιμα στάδια κατασκευής, όπως η διάχυση και η οξείδωση, διασφαλίζοντας ομοιόμορφη επεξεργασία, μεγιστοποιώντας την απόδοση και συμβάλλοντας στη συνολική ποιότητα και αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex MOCVD Epitaxy Susceptor έχει αναδειχθεί ως κρίσιμο συστατικό στην επιταξία Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), επιτρέποντας την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης με εξαιρετική απόδοση και ακρίβεια. Ο μοναδικός συνδυασμός ιδιοτήτων του υλικού το καθιστά απόλυτα κατάλληλο για τα απαιτητικά θερμικά και χημικά περιβάλλοντα που συναντώνται κατά την επιταξιακή ανάπτυξη σύνθετων ημιαγωγών.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex Horizontal SiC Wafer Boat έχει αναδειχθεί ως απαραίτητο εργαλείο στην παραγωγή ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών συσκευών υψηλής απόδοσης. Αυτοί οι εξειδικευμένοι φορείς, σχολαστικά κατασκευασμένοι από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SiC), προσφέρουν εξαιρετικές θερμικές, χημικές και μηχανικές ιδιότητες απαραίτητες για τις απαιτητικές διαδικασίες που εμπλέκονται στην κατασκευή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων αιχμής.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor αντιπροσωπεύει μια κρίσιμη τεχνολογία που επιτρέπει την επιταξιακή ανάπτυξη γκοφρετών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας. Κατασκευασμένοι μέσω μιας εξελιγμένης διαδικασίας Chemical Vapor Deposition (CVD), αυτοί οι υποδοχείς παρέχουν μια στιβαρή και υψηλής απόδοσης πλατφόρμα για την επίτευξη εξαιρετικής ομοιομορφίας επιταξιακής στρώσης και αποτελεσματικότητας της διαδικασίας.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat έχει αναδειχθεί ως μια κρίσιμη τεχνολογία ενεργοποίησης, παρέχοντας μια αταλάντευτη πλατφόρμα για επεξεργασία σε υψηλές θερμοκρασίες, προστατεύοντας παράλληλα την ακεραιότητα του πλακιδίου και διασφαλίζοντας την καθαρότητα που απαιτείται για συσκευές υψηλής απόδοσης. Είναι προσαρμοσμένο στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών που είναι κατασκευασμένες με ακρίβεια. Κάθε πτυχή της επεξεργασίας πλακιδίων, από την εναπόθεση έως τη διάχυση, απαιτεί σχολαστικό έλεγχο και παρθένα περιβάλλοντα. Εμείς στη Semicorex είμαστε αφοσιωμένοι στην κατασκευή και την παροχή υψηλής απόδοσης SiC Ceramic Wafer Boat που συνδυάζει την ποιότητα με την οικονομική απόδοση.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης