Ο φορέας Semicorex RTP είναι επικαλυμμένος με καρβίδιο του πυριτίου χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμού (CVD), η οποία είναι πραγματικά σταθερή για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό. Στον πυρήνα της διαδικασίας ημιαγωγών, οι επιτάξεις υποδοχείς, υποβάλλονται πρώτα στο περιβάλλον εναπόθεσης, επομένως έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Ο φορέας με επίστρωση SiC έχει επίσης υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
● Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
● Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και χημική αντοχή
● Υψηλή θερμική ομοιομορφία
● Εξαιρετική αντοχή στη φθορά