SIC Coated Wafer Sensceptors

Οι Semicorex SIC επικαλυμμένα με δίσκους SEFFERS έχουν σχεδιαστεί για να πληρούν τις πιεστικές απαιτήσεις για την κατασκευή προηγμένων ημιαγωγών, ειδικά σε συστήματα εναπόθεσης ταινιών χωρίς πίεση. Σχεδιάστηκαν με ακρίβεια, προσφέρουν ανώτερες θερμικές επιδόσεις, χημική ανθεκτικότητα και μηχανική σταθερότητα-απαραίτητα για τα περιβάλλοντα επόμενης γενιάς για επεξεργασία λεπτών φιλμ.

Στις τεχνικές εναπόθεσης που δεν χρησιμοποιούν πίεση, όπως η εναπόθεση ατομικού στρώματος (ALD), η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και η απόθεση φυσικής ατμών (PVD) για πολύ λεπτές μεμβράνες, οι κύριες απαιτήσεις είναι μια ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και σταθερότητα επιφάνειας. Η μοναδικότητα του σχεδίου ευαισθησίας μας έγκειται στο γεγονός ότι ενσωματώνει ένα πορώδες υπόστρωμα υψηλής καθαρότητας το οποίο του επιτρέπει να εργάζεται αποτελεσματικά υπό κενού ή συνθήκες κοντά στο θόρυβο, μειώνοντας έτσι τη θερμική τάση και παρέχοντας ομοιόμορφη μεταφορά ενέργειας πάνω από την επιφάνεια του δίσκου.

Η δομή πολλαπλών οπών είναι μια βασική καινοτομία: βοηθά στη μείωση της θερμικής μάζας, προωθεί ακόμη και κατανομή ροής αερίου και μετριάζει τις διακυμάνσεις της πίεσης που διαφορετικά θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την ομοιομορφία εναπόθεσης. Αυτή η δομή συμβάλλει επίσης στην ταχύτερη θερμική αύξηση και τους κύκλους Cooldown, ενισχύοντας τη συνολική διακίνηση και τον έλεγχο της διαδικασίας.

Προσφέρουμε μια σειρά από μεγέθη ευαισθησιών, γεωμετρίες και επίπεδα πορώδους για να ταιριάζουν με διάφορα σχέδια συστήματος εναπόθεσης και διαστάσεις δίσκων. Η αρθρωτή φύση της διαδικασίας παραγωγής μας επιτρέπει την προσαρμογή να ικανοποιεί συγκεκριμένες θερμικές, μηχανικές και χημικές απαιτήσεις της διαδικασίας λεπτού φιλμ του πελάτη.

Το Semicorex SIC επικαλυμμένο με το πλακίδιο Sysceptor είναι μια λύση υψηλής απόδοσης προσαρμοσμένη στις μοναδικές προκλήσεις της εναπόθεσης ταινιών Ultrathin χωρίς πίεση. Ο συνδυασμός του πορώδους δομικού σχεδιασμού και της ισχυρής επικάλυψης SIC παρέχει τη βέλτιστη υποστήριξη για τις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας, επιτρέποντας την καλύτερη ποιότητα των ταινιών, τις υψηλότερες αποδόσεις και το χαμηλότερο λειτουργικό κόστος.