Μεταφορείς με επικάλυψη SIC

Οι μεταφορείς με επικάλυψη Semicorex SIC είναι προχωρημένα εξαρτήματα που υποστηρίζουν τις δισκότητες για διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας σε εφαρμογές ημιαγωγών, όπως η επιταξιακή ανάπτυξη, η διάχυση και η CVD. Οι μεταφορείς παρέχουν δομικά οφέλη από γραφίτη υψηλής καθαρότητας σε συνδυασμό με τα μέγιστα οφέλη επιφάνειας χρησιμοποιώντας μια πυκνή και στολήΕπικάλυψηγια βέλτιστη θερμική σταθερότητα, χημική αντίσταση και μηχανική αντοχή υπό δύσκολες συνθήκες επεξεργασίας.

Πυρήνας γραφίτη υψηλής καθαρότητας για βέλτιστη θερμική αγωγιμότητα

Οι μεταφορείς με επικάλυψη SIC είναι ένα υλικό υποστρώματος εξαιρετικά λεπτών γραφικών κόκκων, υψηλής καθαρότητας. Είναι ένας αποτελεσματικός θερμικός αγωγός, που είναι τόσο ελαφρύ όσο και μηχανικός, μπορεί να κατασκευαστεί σε πολύπλοκες γεωμετρίες που απαιτούνται από το μοναδικό μέγεθος και τους παράγοντες διεργασίας. Ο γραφίτης προσφέρει ομοιόμορφη θέρμανση στην επιφάνεια του δίσκου που περιορίζει την εμφάνιση θερμικών κλίσεων και των ελαττωμάτων θερμικής επεξεργασίας.

Πυκνή επίστρωση SIC για προστασία επιφάνειας και συμβατότητα διαδικασιών

Ο φορέας γραφίτη είναι επικαλυμμένος με καρβίδιο πυριτίου CVD CVD. Η επικάλυψη SIC παρέχει αδιαπέραστη, χωρίς πόρους προστασία από τη διάβρωση, την οξείδωση και τη μόλυνση αερίου διεργασίας από είδη όπως υδρογόνο, χλώριο και σιλάνη. Το τελικό αποτέλεσμα είναι ένας χαμηλής συμμετοχής, σκληρός μεταφορέας που δεν υποβαθμίζει ή χάνει τη σταθερότητα διαστάσεων, επιλέγετε να υποβάλετε σε πολυάριθμους θερμικούς κύκλους και αντιπροσωπεύει σημαντικά μειωμένη δυνατότητα για μόλυνση από πλακίδια.

Οφέλη και βασικά χαρακτηριστικά

Θερμική αντίσταση: Οι επικαλύψεις SIC είναι σταθερές σε θερμοκρασίες που υπερβαίνουν τους 1600 ° C, οι οποίες βελτιστοποιούνται για επιταξίες υψηλής θερμοκρασίας και ανάγκες διάχυσης.

Εξαιρετική χημική ανθεκτική: Αντέχει όλα όλα τα διαβρωτικά αέρια διεργασίας και τα χημικά καθαρισμού και επιτρέπει μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και λιγότερο χρόνο διακοπής.

Χαμηλή παραγωγή σωματιδίων: Η επιφάνεια SIC ελαχιστοποιεί την απόρριψη και την απόρριψη σωματιδίων και διατηρεί καθαρό το περιβάλλον διεργασίας που είναι ζωτικής σημασίας για την απόδοση των συσκευών.

Έλεγχος διαστάσεων: Ακριβώς σχεδιασμένο για να κλείσει τις ανοχές για να εξασφαλιστεί η ενιαία υποστήριξη δίσκων, ώστε να μπορεί να αντιμετωπιστεί αυτόματα με πλακίδια.

Μείωση του κόστους: Οι κύκλοι μεγαλύτερης διάρκειας ζωής και οι χαμηλότερες ανάγκες συντήρησης παρέχουν χαμηλότερο συνολικό κόστος ιδιοκτησίας (TCO) από τους παραδοσιακούς γραφίτες ή γυμνούς φορείς.

Εφαρμογές:

Οι μεταφορείς με επικάλυψη SIC χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών ισχύος, σε ημιαγωγούς σύνθετων (όπως GAN, SIC), MEMS, LED και άλλες συσκευές που απαιτούν επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας σε επιθετικά χημικά περιβάλλοντα. Είναι ιδιαίτερα απαραίτητα σε επιταξιακούς αντιδραστήρες, όπου η καθαριότητα, η ανθεκτικότητα και η θερμική ομοιομορφία της επιφάνειας επηρεάζουν άμεσα την ποιότητα και την αποτελεσματικότητα της παραγωγής.

Προσαρμογή και ποιοτικός έλεγχος

ΗμικόρουΕπικαλυμμένο με SicΟι μεταφορείς πλακιδίων παράγονται υπό αυστηρά πρωτόκολλα ελέγχου ποιότητας. Έχουμε επίσης ευελιξία με τυποποιημένα μεγέθη και διαμορφώσεις και μπορούμε να προσαρμόσουμε λύσεις μηχανικών που πληρούν τις απαιτήσεις των πελατών. Είτε έχετε μορφή 4 ιντσών ή 12 ιντσών, μπορούμε να βελτιστοποιήσουμε τους μεταφορείς των πλακιδίων για οριζόντιους ή κατακόρυφους αντιδραστήρες, παρτίδα ή επεξεργασία μεμονωμένων πλακιδίων και συγκεκριμένες συνταγές επιταξίας.