Δαχτυλίδια πλακιδίων 8 ιντσών

Οι δακτύλιοι Semicorex 8-ιντσών είναι δακτύλιοι επεξεργασίας ημιαγωγών αιχμής που προορίζονται να εξασφαλίσουν και να υποστηρίξουν τις δισκότητες πυριτίου με ασφάλεια μέσω σημαντικών διεργασιών θερμικής, χάραξης και εναπόθεσης. Κατασκευασμένο από γραφίτη υψηλής ποιότητας με πυκνόΕπικάλυψη καρβιδίου πυριτίου (sic)Για πρόσθετη αντοχή, ο δακτύλιος θήκης δίσκων αποδίδει ανώτερη θερμική σταθερότητα, χημική αντοχή και μηχανική αντοχή, καθιστώντας την ιδανική για χρήση σε συστήματα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικού όπως CVD (χημική εναπόθεση ατμών), συστήματα PECVD και επιταξουσίας.

Βασικά χαρακτηριστικά:

Σύνθεση υλικού:

Το υλικό του υποστρώματος είναιγραφίτης υψηλής καθαρότητας, η οποία επιλέγεται για υψηλή θερμική αγωγιμότητα και δομική ομοιογένεια. Υψηλή πυκνότητα και στολήΕπικάλυψη φιλμ καρβιδίου πυριτίου (sic)εφαρμόζεται στην επιφάνεια, παρουσιάζοντας υψηλή αντίσταση στην οξείδωση και τη χημική επίθεση ακόμη και σε αυξημένες θερμοκρασίες άνω των 1000 ° C. Το μείγμα περιέχει διάρκεια ζωής μακράς διάρκειας και ελάχιστο κίνδυνο μόλυνσης των πλακιδίων.

Ασφαλής τοποθέτηση πλακιδίων

Σχεδιασμένο ιδιαίτερα για να κρατάει πλακίδια 8 ιντσών (200 mm), ο δακτύλιος των πλακιδίων διατηρεί ακριβείς ανοχές και μια βέλτιστα σχεδιασμένη εσωτερική γεωμετρία για να πιάσει με ασφάλεια το δίσκο. Ο δακτύλιος παραμένει σταθερός στη θέση του κατά τη διάρκεια της θερμικής κύκλησης και της ροής αερίου, ελαχιστοποιώντας την μικρο-κίνηση που θα μπορούσε να οδηγήσει στη δημιουργία σωματιδίων ή στη θραύση του δίσκου.

Θερμική ομοιομορφία:

Η εγγενή θερμική αγωγιμότητα του υπόστρωμα γραφίτη και η σταθερότητα της επίστρωσης SIC εξασφαλίζουν συνεπή μεταφορά θερμότητας πάνω από την επιφάνεια του δίσκου. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα συνεπή αποτελέσματα της διαδικασίας, μειωμένη θερμική τάση και καλύτερη απόδοση συσκευών.

Χημική αντίσταση στο πλάσμα:

Η επιφάνεια SIC προστατεύει τον πυρήνα γραφίτη από σκληρά πλάσματα και αέρια διεργασίας, προσφέροντας αντίσταση σε επαναλαμβανόμενους κύκλους διεργασίας. Η χημική αδράνεια είναι ιδιαίτερα επωφελής σε περιβάλλοντα με διάβρωση αλογόνου ή σε δραστικά περιβάλλοντα αερίου.

Διαθέσιμη προσαρμογή:

Οι δακτύλιοι πλακιδίων 8 ιντσών ενδέχεται να σχεδιάζονται προσαρμοσμένα για να πληρούν συγκεκριμένα εξοπλισμό ή απαιτήσεις διεργασίας, δηλ. Παραλλαγές στο σχεδιασμό υποστήριξης άκρων, τοποθεσία των υποδοχών και διαμόρφωσης τοποθέτησης. Οι σχεδιαστές μας συνεργάζονται με ΚΑΕ και FABS για να παρέχουν την υψηλότερη δυνατή απόδοση για κάθε χρήση.

Εφαρμογές:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Επιταξιακές διαδικασίες ανάπτυξης
• Φούρνοι διάχυσης
• Ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας
• Άλλα συστήματα θερμικής επεξεργασίας ημιαγωγών

Κάθε δακτύλιες πλακιδίων 8 ιντσών υφίσταται αυστηρή επιθεώρηση όπως η επαλήθευση ακρίβειας διαστάσεων, η δοκιμή προσκόλλησης επικάλυψης και η προϋπόθεση για τη θερμική ποδηλασία. Η προηγμένη τεχνολογία κατασκευής μας εξασφαλίζει ομοιόμορφη πάχος επικάλυψης SIC και λεπτότερο φινίρισμα επιφάνειας για να εκπληρώσει τις υψηλές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Οι δακτύλιοι των πελατών ημι-8 ιντσών (γραφίτη επικαλυμμένης με SIC) αποτελούν βασικό εξοπλισμό για την παραγωγή ημιαγωγών επόμενης γενιάς, παρέχοντας μηχανική ακρίβεια, ανθεκτικότητα των υλικών και χημική σταθερότητα. Από τις αναβαθμίσεις εξοπλισμού επεξεργασίας στην κατασκευή πλατφορμών πλακιδίων επόμενης γενιάς, το προϊόν αυτό προσφέρει την αξιοπιστία και τις επιδόσεις που απαιτούνται για να επιτρέψουν τα σημερινά απαιτητικά περιβάλλοντα παραγωγής.