Επιταξιακή ενότητα

Η επιταξιακή μονάδα Semicorex SIC, κατασκευασμένη από Premium Grade, SIC επικαλυμμένο με γραφίτη, αποτελεί μέρος του επιταξιακού εξοπλισμού που αναπτύσσεται για να αντέξει τα πιο δύσκολα στοιχεία επιταξίας καρβιδίου πυριτίου (SIC). Αυτή η ενότητα, που προορίζεται για υψηλές θερμοκρασίες σε εφαρμογές χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), αποτελεί σημαντικό στοιχείο για την επίδειξη σταθερότητας και υποστήριξης για τις πλακές κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης υψηλής ποιότητας SIC. Η μονάδα Semicorex SIC είναι ένα αποτελεσματικό βασικό υλικό για μια αξιόπιστη και επαναλαμβανόμενη παραγωγή επιταξιακού υλικού σύμφωνα με τις ποιοτικές προδιαγραφές SIC.

Η μονάδα Semicorex SIC είναι ένα υπόστρωμα γραφίτη που καλύπτεται με πυκνό και ομοιόμορφο στρώμα επένδυσης καρβιδίου πυριτίου και είναι ανθεκτικό στη μόλυνση των σωματιδίων και τη διάβρωση ακόμη και στις πιο σοβαρές χημικές διαδικασίες. Η επικάλυψη SIC απαγορεύει τη μόλυνση και τη διάβρωση του υποκείμενου γραφίτη και παρέχει σημαντική μηχανική υποστήριξη και προστασία έως 1600 ° C. Η μονάδα SIC συνδυάζει τη δύναμη και τη δυνατότητα μηχανικής του γραφίτη με τη συνολική φθορά, τη διάβρωση και τις χημικές ανθεκτικές ιδιότητες του καρβιδίου πυριτίου, καθιστώντας το το καλύτερο κατάλληλο της μονάδας όσον αφορά την ανθεκτικότητα σε μια σκληρή επιταξιακή ατμόσφαιρα.

Η ενότητα έχει σχεδιαστεί για να παρέχει ένα ομοιόμορφο θερμικό προφίλ, ενώ ελαχιστοποιεί τη διαστασιακή αλλαγή σε όλη τη διαδικασία θερμικής ποδηλασίας. Αυτή η θερμική ομοιομορφία και η σταθερότητα είναι απαραίτητα για τη διατήρηση της επίπεδης επιτάχυνσης και της ομοιομορφίας επιταξίας. Εάν το δίσκο διατηρήσει μια σταθερή θέση με υψηλή θερμική αγωγιμότητα, τότε οι θερμικές συνθήκες σε όλη τη δίσκο κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας θα είναι ομοιόμορφες, γεγονός που επηρεάζει θετικά την απόδοση, την ποιότητα των κρυστάλλων και το χρόνο διακοπής που σχετίζεται με την αποτυχία ή τη μόλυνση του τμήματος.

Η επιταξιακή μονάδα SIC είναι συμβατή με αρκετούς επιταξιακούς αντιδραστήρες, συμπεριλαμβανομένου του καυτού τοιχώματος και του ψυχρού τοίχου και έχει την επιλογή να προσαρμοστεί ώστε να διαμορφώνεται και να διασχίζει συγκεκριμένες διατάξεις των αντιδραστήρων και τις ανάγκες των πελατών. Η επιταξιακή μονάδα SIC είναι κατάλληλη για, αλλά δεν περιορίζεται σε, 4 ιντσών, 6 ιντσών και αναδυόμενες εφαρμογές επιταξίας SIC 8 ιντσών. Λόγω της υψηλής καθαρότητας και της βελτιστοποιημένης γεωμετρίας της επιταξιακής μονάδας SIC, η φυσική παρεμβολή ελαχιστοποιείται στην επίδρασή της στη δυναμική ροής αερίου και στις θερμικές κλίσεις που υποστηρίζουν πιο ελεγχόμενη ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος.

Οι επιταξιακές ενότητες του Semicorex αντιπροσωπεύουν το ελεγχόμενο κομμάτι υψηλής ποιότητας στην εκκεντρική συναρμολόγηση. Εκτός από τα πρωτόκολλα ελέγχου υψηλής ποιότητας, το Semicorex χρησιμοποιεί τις τελευταίες μεθόδους επικάλυψης για την εφαρμογή ομοιόμορφων, πυκνών και χαμηλών εξόδων SIC. Το Semicorex έχει ένα μακρύ ιστορικό κεραμικών επικαλύψεων υψηλής απόδοσης και οφέλη προσδιορισμού της επεξεργασίας γραφίτη που παρέχουν την καλύτερη δυνατή διάρκεια ζωής, συνέπειας και σταθερότητα της διαδικασίας από παρτίδα σε παρτίδα.

Στο ταχέως εξελισσόμενο πεδίο των συσκευών ισχύος SIC, όπου η ποιότητα του υλικού επηρεάζει άμεσα την απόδοση της συσκευής, η επιταξιακή μονάδα δεν είναι απλώς μια αναλώσιμη-είναι ένας κρίσιμος παράγοντας. Η επιταξιακή μονάδα γραφίτη SIC από το Semicorex προσφέρει μια ισχυρή, αξιόπιστη λύση για τους πελάτες που επιδιώκουν να προωθήσουν τα όρια της αποτελεσματικότητας, της απόδοσης και του κόστους-αποτελεσματικότητας στην επιταξία SIC.