Η επίστρωση SiC είναι ένα λεπτό στρώμα πάνω στον υποδοχέα μέσω της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Το υλικό καρβιδίου του πυριτίου παρέχει μια σειρά από πλεονεκτήματα σε σχέση με το πυρίτιο, συμπεριλαμβανομένου του 10x της ισχύος ηλεκτρικού πεδίου διάσπασης, του 3x του κενού ζώνης, που παρέχει στο υλικό υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά καθώς και θερμική αγωγιμότητα.
Η Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία, σας βοηθά να καινοτομείτε με εξαρτήματα που διαρκούν περισσότερο, μειώνουν τους χρόνους κύκλου και βελτιώνουν τις αποδόσεις.
Η επίστρωση SiC έχει πολλά μοναδικά πλεονεκτήματα
Αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς να υποστεί σημαντική θερμική υποβάθμιση.
Χημική αντίσταση: Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντοχή σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένων οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλυτών.
Αντίσταση στη φθορά: Η επίστρωση SiC παρέχει στο υλικό εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που περιλαμβάνουν υψηλή φθορά.
Θερμική αγωγιμότητα: Η επίστρωση CVD SiC παρέχει στο υλικό υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καθιστώντας το κατάλληλο για χρήση σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας.
Υψηλή αντοχή και ακαμψία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας καρβιδίου πυριτίου παρέχει στο υλικό υψηλή αντοχή και ακαμψία, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή μηχανική αντοχή.
Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται σε διάφορες εφαρμογές
Κατασκευή LED: Ο υποδοχέας με επικάλυψη CVD SiC χρησιμοποιείται στην κατασκευή επεξεργασμένων διαφόρων τύπων LED, συμπεριλαμβανομένων των μπλε και πράσινων LED, UV LED και LED βαθιάς UV, λόγω της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της χημικής αντοχής.
Κινητή επικοινωνία: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα κρίσιμο μέρος του HEMT για την ολοκλήρωση της επιταξιακής διαδικασίας GaN-on-SiC.
Επεξεργασία ημιαγωγών: Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών για διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας πλακιδίων και της επιταξιακής ανάπτυξης.
Στοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiC
Κατασκευασμένο από γραφίτη Silicon Carbide Coating (SiC), η επίστρωση εφαρμόζεται με μέθοδο CVD σε συγκεκριμένες ποιότητες γραφίτη υψηλής πυκνότητας, ώστε να μπορεί να λειτουργεί σε κλίβανο υψηλής θερμοκρασίας με πάνω από 3000 °C σε αδρανή ατμόσφαιρα, 2200 °C σε κενό .
Οι ειδικές ιδιότητες και η χαμηλή μάζα του υλικού επιτρέπουν γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης, ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και εξαιρετική ακρίβεια στον έλεγχο.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
Δομή |
|
FCC β φάση |
Προσανατολισμός |
Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Συμπέρασμα Ο επικαλυμμένος υποδοχέας CVD SiC είναι ένα σύνθετο υλικό που συνδυάζει τις ιδιότητες ενός επιδεκτικού και καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό το υλικό διαθέτει μοναδικές ιδιότητες, όπως υψηλή θερμοκρασία και χημική αντοχή, εξαιρετική αντοχή στη φθορά, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και υψηλή αντοχή και ακαμψία. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν ελκυστικό υλικό για διάφορες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες, συμπεριλαμβανομένης της επεξεργασίας ημιαγωγών, της χημικής επεξεργασίας, της θερμικής επεξεργασίας, της κατασκευής ηλιακών κυττάρων και της κατασκευής LED.
Με το υψηλό σημείο τήξης, την αντοχή στην οξείδωση και την αντίσταση στη διάβρωση, το Semicorex-Coated Crystal Growth Susceptor είναι η ιδανική επιλογή για χρήση σε εφαρμογές ανάπτυξης μονού κρυστάλλου. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετικές ιδιότητες επιπεδότητας και κατανομής θερμότητας, καθιστώντας το ιδανική επιλογή για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΕάν χρειάζεστε έναν επιδέκτη γραφίτη που μπορεί να αποδώσει αξιόπιστα και σταθερά ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά, το Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy είναι η τέλεια επιλογή. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και κατανομή θερμότητας, εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση σε εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο βαρέλι γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου Semicorex είναι η τέλεια επιλογή για εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Οι εξαιρετικές του ιδιότητες θερμικής αγωγιμότητας και κατανομής θερμότητας το καθιστούν ιδανικό για χρήση σε διεργασίες LPE και άλλα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΜε την εξαιρετική του πυκνότητα και θερμική αγωγιμότητα, το Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η ιδανική επιλογή για χρήση σε επιταξιακές διεργασίες και άλλες εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών. Η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας του παρέχει ανώτερες ιδιότητες προστασίας και κατανομής θερμότητας, καθιστώντας το την καλύτερη επιλογή για αξιόπιστα και σταθερά αποτελέσματα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΌταν πρόκειται για την κατασκευή ημιαγωγών, το Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η κορυφαία επιλογή για ανώτερη απόδοση και αξιοπιστία. Η υψηλής ποιότητας επίστρωση SiC και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα το καθιστούν ιδανικό για χρήση ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΜε το υψηλό σημείο τήξης, την αντοχή στην οξείδωση και την αντίσταση στη διάβρωση, το Semicorex-Coated SiC-Coated Barrel Susceptor είναι η τέλεια επιλογή για χρήση σε εφαρμογές ανάπτυξης μονού κρυστάλλου. Η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχει εξαιρετικές ιδιότητες επιπεδότητας και κατανομής θερμότητας, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης