RTP SiC Coating Carrier

Το Semicorex RTP SiC Coating Carrier προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με τον υψηλής ποιότητας γραφίτη με επίστρωση SiC, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στο πιο σκληρό περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Το RTP SiC Coating Carrier μας έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στις πιο δύσκολες συνθήκες του περιβάλλοντος εναπόθεσης. Με την υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, οι επιτάχιοι υποδοχείς υπόκεινται στο τέλειο περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η λεπτή επίστρωση κρυστάλλου SiC στον φορέα εξασφαλίζει λεία επιφάνεια και υψηλή αντοχή έναντι του χημικού καθαρισμού, ενώ το υλικό είναι κατασκευασμένο για να αποτρέπει τις ρωγμές και την αποκόλληση.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικού φορέα επίστρωσης RTP SiC, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για το RTP SiC Coating Carrier.

Παράμετροι RTP SiC Coating Carrier

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά του RTP SiC Coating Carrier

Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.