Πλάκα μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη

Το Semicorex SiC Coated RTP Carrier Plate for Epitaxial Growth είναι η τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με τους υψηλής ποιότητας υποδοχείς άνθρακα γραφίτη και τα χωνευτήρια χαλαζία που επεξεργάζονται με MOCVD στην επιφάνεια γραφίτη, κεραμικών κ.λπ., αυτό το προϊόν είναι ιδανικό για χειρισμό γκοφρέτας και επεξεργασία επιταξιακής ανάπτυξης. Ο φορέας με επίστρωση SiC εξασφαλίζει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας, καθιστώντας τον μια αξιόπιστη επιλογή για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Η πλάκα μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στις πιο δύσκολες συνθήκες του περιβάλλοντος εναπόθεσης. Με την υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, οι επιτάξιοι υποδοχείς υπόκεινται στο τέλειο περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η λεπτή επίστρωση κρυστάλλου SiC στον φορέα εξασφαλίζει λεία επιφάνεια και υψηλή ανθεκτικότητα έναντι του χημικού καθαρισμού, ενώ το υλικό είναι κατασκευασμένο για να αποτρέπει τις ρωγμές και την αποκόλληση.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για την πλάκα μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη.

Παράμετροι πλάκας μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά της πλάκας μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη

Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.

Hot Tags: Πλάκα μεταφοράς RTP με επίστρωση SiC για επιταξιακή ανάπτυξη, Κίνα, κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστασιακό, προσαρμοσμένο, μαζικό, προηγμένο, ανθεκτικό

Ετικέτα προϊόντος

Σχετική Κατηγορία