Το RTP Graphite Carrier Plate της Semicorex είναι η τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της επιταξιακής ανάπτυξης και της επεξεργασίας χειρισμού πλακιδίων. Το προϊόν μας έχει σχεδιαστεί για να προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, διασφαλίζοντας ότι οι επιτάχιοι υποδοχείς υπόκεινται στο περιβάλλον εναπόθεσης, με υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση.
Το προϊόν μας διαθέτει γραφίτη υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένο με SiC, ο οποίος προσφέρει εξαιρετικές ιδιότητες διανομής θερμότητας, διασφαλίζοντας ότι ο φορέας με επίστρωση SiC έχει λεία επιφάνεια, απαλλαγμένη από ρωγμές και αποκολλήσεις. Η πλάκα μεταφοράς γραφίτη RTP έχει λεπτή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου, διασφαλίζοντας ότι η επιφάνεια είναι λεία και απαλλαγμένη από ελαττώματα. Αυτό το προϊόν είναι εξαιρετικά ανθεκτικό έναντι σκληρού χημικού καθαρισμού και έχει σχεδιαστεί για να διασφαλίζει ότι δεν εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.
Προσφέρουμε ένα πλεονέκτημα τιμής που δεν μπορούν να ταιριάξουν οι ανταγωνιστές μας και δεσμευόμαστε να γίνουμε μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Με την πλάκα μεταφοράς γραφίτη RTP, μπορείτε να είστε βέβαιοι για εξαιρετική απόδοση, ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία. Ο φορέας με επίστρωση SiC έχει σχεδιαστεί για να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και είναι εξαιρετικά ανθεκτικός στον χημικό καθαρισμό, διασφαλίζοντας ότι διαρκεί για πολλά χρόνια. Το προϊόν μας έχει επίσης σχεδιαστεί για να είναι εύκολο στη χρήση, καθιστώντας το ιδανικό τόσο για νέους όσο και για έμπειρους χρήστες.
Στη Semicorex, δεσμευόμαστε να παρέχουμε προϊόντα και υπηρεσίες υψηλής ποιότητας στους πελάτες μας. Χρησιμοποιούμε μόνο τα καλύτερα υλικά και τα προϊόντα μας έχουν σχεδιαστεί για να πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα ποιότητας και απόδοσης. Το RTP Graphite Carrier Plate μας δεν αποτελεί εξαίρεση. Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το πώς μπορούμε να σας βοηθήσουμε με τις ανάγκες επεξεργασίας γκοφρέτας ημιαγωγών.
Παράμετροι πλάκας μεταφοράς γραφίτη RTP
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του RTP Graphite Carrier Plate
Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.