SiC Ceramic Wafer Boats

Η επιλογή αξιόπιστων και ανθεκτικών σκαφών γκοφρέτας είναι ζωτικής σημασίας για τη διασφάλιση της σταθερότητας της διαδικασίας και της απόδοσης της γκοφρέτας σε συνθήκες λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής διάβρωσης. SemicorexΚεραμικό SiCΤα σκάφη γκοφρέτας αποτελούν την ιδανική επιλογή για το σκοπό αυτό επεξεργάζοντας τα πολλαπλά πλεονεκτήματά τους, όπως η υψηλή ενσωμάτωση, η υψηλή σταθερότητα, η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, η αντοχή στη φθορά και η μεγάλη διάρκεια ζωής.

Premium επιλογές πρώτων υλών

Ο ποιοτικός έλεγχος της SemicorexSiC κεραμικές βάρκες γκοφρέταςξεκινά με την αυστηρή επιλογή πρώτων υλών τους. Τα κεραμικά σκάφη γκοφρέτας Semicorex SiC είναι κατασκευασμένα από σκόνη καρβιδίου του πυριτίου σε επίπεδο ημιαγωγού υψηλής καθαρότητας μέσω πυροσυσσωμάτωσης σε υψηλή θερμοκρασία. Χάρη στην κορυφαία πρώτη ύλη τους, προσφέρουν την ακόλουθη εξαιρετική απόδοση.

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, χαμηλή μόλυνση μεταλλικών ακαθαρσιών.

2. Πυκνή δομή υλικού, μειώνοντας τη μόλυνση του πλακιδίου που προκαλείται από την απόρριψη σωματιδίων.

3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση έναντι του πλάσματος, των ισχυρών οξέων και των αλκαλίων.

4. Υψηλή σκληρότητα και μηχανική αντοχή, ανθεκτικό στη φθορά και τις γρατσουνιές.

5. Εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χωρίς παραμόρφωση ή ερπυσμό στους 1250°C.

6. Εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ, μειώνοντας τη θερμική καταπόνηση από γρήγορες αλλαγές θερμοκρασίας.

Προσεγμένος προσαρμοσμένος σχεδιασμός

Τα κεραμικά σκάφη γκοφρέτας Semicorex SiC ταιριάζουν καλά με πολλούς κορυφαίους OEM κλιβάνων του κλάδου, όπως τα TEL, ASM και Kokusai Electric. Η Semicorex προσφέρει εξατομικευμένες λύσεις για τους αξιότιμους πελάτες μας, υποστηρίζοντας την προσαρμογή των διαστάσεων του σκάφους γκοφρέτας, του βήματος υποδοχής, του βάθους της σχισμής, του προφίλ σχισμής (σχήμα V ή U) και αντίστοιχες γωνίες για τέλεια συμβατότητα με τον εξοπλισμό και τις απαιτήσεις επεξεργασίας σας.

Ακρίβεια μηχανικής κατεργασίας

Με την υποστήριξη προηγμένου μηχανικού εξοπλισμού και ώριμων τεχνολογιών επεξεργασίας, η Semicorex είναι σε θέση να ελέγχει αυστηρά τις διαστάσεις και τις ανοχές των κεραμικών σκαφών γκοφρέτας SiC. Αυτός ο έλεγχος διαστάσεων υψηλής ακρίβειας διασφαλίζει ότι οι γκοφρέτες ημιαγωγών είναι σταθερά τοποθετημένες κατά τη λειτουργία, γεγονός που αποτρέπει αποτελεσματικά τη ζημιά της πλακέτας που προκύπτει από ολίσθηση ή κλίση. Μετά από κατεργασία ακριβείας, οι ομοιόμορφες υποδοχές των κεραμικών πλακών πλακιδίων SiC μπορούν να εξασφαλίσουν ότι κάθε γκοφρέτα θερμαίνεται και αντιδρά ομοιόμορφα κατά τη διάρκεια των διεργασιών οξείδωσης, διάχυσης και CVD, γεγονός που συμβάλλει σημαντικά στη βελτίωση της συνοχής της διαδικασίας και της απόδοσης τσιπ ημιαγωγών.