Η Semicorex είναι ένας μεγάλης κλίμακας κατασκευαστής και προμηθευτής γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα. Εστιάζουμε σε βιομηχανίες ημιαγωγών, όπως στρώματα καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγούς επιταξίας. Ο δακτύλιος εισόδου αερίου για εξοπλισμό ημιαγωγών έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει πολλές από τις ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Ο δακτύλιος εισόδου αερίου Semicorex για εξοπλισμό ημιαγωγών είναι επικαλυμμένος με SiC, ο οποίος είναι μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Έχει υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και στη θερμότητα καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Εφαρμόζουμε SiC σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Ο δακτύλιος εισόδου αερίου μας για εξοπλισμό ημιαγωγών έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τον δακτύλιο εισόδου αερίου για εξοπλισμό ημιαγωγών.
Παράμετροι Δακτυλίου Εισόδου Αερίου για Εξοπλισμό Ημιαγωγών
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του δακτυλίου εισόδου αερίου για εξοπλισμό ημιαγωγών
● Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
● Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
● Επικάλυψη με λεπτό κρύσταλλο SiC για λεία επιφάνεια
● Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
● Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.