Το καπάκι θαλάμου καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται στην ανάπτυξη κρυστάλλων και στην επεξεργασία του χειρισμού γκοφρέτας πρέπει να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Η Semicorex είναι ένας μεγάλης κλίμακας κατασκευαστής και προμηθευτής γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα. Τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτουν πολλές από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροχρόνιος συνεργάτης σας.
Το καπάκι θαλάμου καρβιδίου πυριτίου που χρησιμοποιείται στην ανάπτυξη μονοκρυστάλλων ή MOCVD ή επεξεργασίας χειρισμού γκοφρετών πρέπει να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Η Semicorex παρέχει κατασκευή γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας που παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντοχή. Είναι ανθεκτικά στην εμπειρία ενός συνδυασμού πτητικών πρόδρομων αερίων, πλάσματος και υψηλής θερμοκρασίας.
Το καπάκι του θαλάμου καρβιδίου πυριτίου έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το καπάκι θαλάμου καρβιδίου πυριτίου.
Παράμετροι καπακιού θαλάμου καρβιδίου πυριτίου
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του καπακιού θαλάμου καρβιδίου πυριτίου
● Εξαιρετικά επίπεδες δυνατότητες
● Γυαλιστικό καθρέφτη
● Εξαιρετικά μικρό βάρος
● Υψηλή ακαμψία
● Χαμηλή θερμική διαστολή
● Εξαιρετική αντοχή στη φθορά