Η Semicorex είναι ένας κορυφαίος ανεξάρτητος κατασκευαστής γραφίτη επικαλυμμένου με καρβίδιο πυριτίου, γραφίτη υψηλής καθαρότητας επεξεργασμένου ακριβείας που εστιάζει στους τομείς παραγωγής ημιαγωγών με επικαλυμμένο καρβίδιο πυριτίου, κεραμικό καρβίδιο πυριτίου και MOCVP. Το Robot End Effector έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει πολλές από τις ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Το Robot End Effector είναι το χέρι του ρομπότ που μετακινεί γκοφρέτες ημιαγωγών μεταξύ θέσεων στον εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων και στους φορείς. Το Robot End Effector πρέπει να είναι ακριβές ως προς τις διαστάσεις και να είναι θερμικά σταθερό, ενώ έχει μια λεία, ανθεκτική στην τριβή επιφάνεια για να χειρίζεται με ασφάλεια τις γκοφρέτες χωρίς να καταστρέφει τις συσκευές ή να προκαλεί σωματιδιακή μόλυνση. Το Robot End Effector με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) υψηλής καθαρότητας παρέχει ανώτερη αντίσταση στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντοχή.
Παράμετροι του Robot End Effector
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του Robot End Effector
Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.