Προϊόντα

Οι πλάκες επικάλυψης Semicorex RTP SIC είναι φορείς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί για χρήση σε απαιτητικά περιβάλλοντα ταχείας θερμικής επεξεργασίας. Εμπιστευμένοι από τους κορυφαίους κατασκευαστές ημιαγωγών, η Semicorex προσφέρει ανώτερη θερμική σταθερότητα, ανθεκτικότητα και έλεγχο μόλυνσης που υποστηρίζεται από αυστηρά πρότυπα ποιότητας και παραγωγή ακριβείας.*

Το Semicorex RTP Ring είναι ένας δακτύλιος γραφίτη με επίστρωση SiC που έχει σχεδιαστεί για εφαρμογές υψηλής απόδοσης σε συστήματα Ταχείας Θερμικής Επεξεργασίας (RTP). Επιλέξτε Semicorex για την προηγμένη τεχνολογία υλικών μας, διασφαλίζοντας ανώτερη αντοχή, ακρίβεια και αξιοπιστία στην κατασκευή ημιαγωγών.*

Το RTP Graphite Carrier Plate της Semicorex είναι η τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της επιταξιακής ανάπτυξης και της επεξεργασίας χειρισμού πλακιδίων. Το προϊόν μας έχει σχεδιαστεί για να προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, διασφαλίζοντας ότι οι επιτάχιοι υποδοχείς υπόκεινται στο περιβάλλον εναπόθεσης, με υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση.

Το Semicorex RTP SiC Coating Carrier προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με τον υψηλής ποιότητας γραφίτη με επίστρωση SiC, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στο πιο σκληρό περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Το Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στις πιο δύσκολες συνθήκες του περιβάλλοντος εναπόθεσης. Με την υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να παρέχει βέλτιστη απόδοση για επιταξιακή ανάπτυξη. Ο φορέας με επίστρωση SiC έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.

Το Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate for MOCVD προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών ημιαγωγών. Με γραφίτη υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο με SiC, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να αντέχει στο πιο σκληρό περιβάλλον εναπόθεσης για επιταξιακή ανάπτυξη. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό.