CVD SiC επικαλυμμένο βαρέλι Susceptor

Το Semicorex CVD SiC Coated Barrel Susceptor είναι ένα σχολαστικά κατασκευασμένο εξάρτημα προσαρμοσμένο για προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα επιταξία. Κατασκευασμένο με ακρίβεια και καινοτομία, αυτό το CVD SiC Coated Barrel Susceptor έχει σχεδιαστεί για να διευκολύνει την επιταξιακή ανάπτυξη υλικών ημιαγωγών σε γκοφρέτες με απαράμιλλη αποτελεσματικότητα και αξιοπιστία.

Στον πυρήνα του CVD SiC Coated Barrel Susceptor βρίσκεται μια στιβαρή δομή γραφίτη, γνωστή για την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και τη μηχανική αντοχή του. Αυτή η βάση γραφίτη χρησιμεύει ως γερό θεμέλιο για τον υποδοχέα, εξασφαλίζοντας σταθερότητα και μακροζωία κάτω από τις απαιτητικές συνθήκες των επιταξιακών αντιδραστήρων.

Η ενίσχυση του υποστρώματος γραφίτη είναι μια επίστρωση αιχμής από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) Chemical Vapor Deposition (CVD). Αυτή η εξειδικευμένη επίστρωση SiC εφαρμόζεται σχολαστικά μέσω μιας διαδικασίας εναπόθεσης χημικών ατμών, με αποτέλεσμα ένα ομοιόμορφο και ανθεκτικό στρώμα που καλύπτει την επιφάνεια του γραφίτη. Η επίστρωση CVD SiC του CVD SiC Coated Barrel Susceptor εισάγει μια μυριάδα πλεονεκτημάτων κρίσιμων για τις επιταξιακές διεργασίες.

Η επίστρωση CVD SiC του CVD SiC Coated Barrel Susceptor παρουσιάζει εξαιρετικές θερμικές ιδιότητες, συμπεριλαμβανομένης της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και της θερμικής σταθερότητας. Αυτές οι ιδιότητες είναι καθοριστικές για τη διασφάλιση της ομοιόμορφης και ακριβούς θέρμανσης των πλακών ημιαγωγών κατά την επιταξιακή ανάπτυξη, προάγοντας έτσι την εναπόθεση του στρώματος και ελαχιστοποιώντας τα ελαττώματα στο τελικό προϊόν.

Η σχεδίαση σε σχήμα βαρελιού του CVD SiC Coated Barrel Susceptor είναι βελτιστοποιημένη για αποτελεσματική φόρτωση και εκφόρτωση πλακιδίων, καθώς και βέλτιστη κατανομή θερμότητας σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου. Αυτό το χαρακτηριστικό σχεδιασμού, σε συνδυασμό με την ανώτερη απόδοση της επίστρωσης CVD SiC, εγγυάται απαράμιλλο έλεγχο της διαδικασίας και απόδοση στις επιταξιακές εργασίες κατασκευής.