Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Το Semicorex TaC Coated Graphite Chuck είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για ακριβή χειρισμό πλακιδίων και διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή ημιαγωγών. Επιλέξτε Semicorex για τα καινοτόμα, ανθεκτικά προϊόντα της που εξασφαλίζουν βέλτιστη απόδοση και μακροζωία σε απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος Semicorex TaC είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για ανάπτυξη μονοκρυστάλλου SiC, εξασφαλίζοντας βέλτιστη κατανομή ροής αερίου και έλεγχο θερμοκρασίας. Επιλέξτε Semicorex για την εξειδίκευσή μας στα προηγμένα υλικά και τη μηχανική ακριβείας, παρέχοντας ανθεκτικές και αξιόπιστες λύσεις που ενισχύουν την αποτελεσματικότητα και την ποιότητα των διεργασιών ημιαγωγών σας.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex Tantalum Carbide Part είναι ένα συστατικό γραφίτη με επίστρωση TaC σχεδιασμένο για χρήση υψηλής απόδοσης σε εφαρμογές ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου (SiC), προσφέροντας εξαιρετική θερμοκρασία και χημική αντοχή. Επιλέξτε Semicorex για αξιόπιστα, υψηλής ποιότητας εξαρτήματα που ενισχύουν την ποιότητα των κρυστάλλων και την απόδοση παραγωγής στην κατασκευή ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟι δακτύλιοι Semicorex Tantalum Carbide είναι κρίσιμα συστατικά που χρησιμοποιούνται σε προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Γνωστό για την εξαιρετική σκληρότητα, το υψηλό σημείο τήξης και τη χημική τους αδράνεια, στη Semicorex, είμαστε αφοσιωμένοι στην παράδοση προϊόντων που πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα ποιότητας και απόδοσης, διασφαλίζοντας ότι οι πελάτες μας παραμένουν στην πρώτη γραμμή της καινοτομίας στον κλάδο των ημιαγωγών.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor είναι ένας δίσκος γραφίτη επικαλυμμένος με καρβίδιο τανταλίου, που χρησιμοποιείται στην επιταξιακή ανάπτυξη καρβιδίου του πυριτίου για τη βελτίωση της ποιότητας και της απόδοσης της γκοφρέτας. Επιλέξτε το Semicorex για την προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης και τις ανθεκτικές λύσεις που εξασφαλίζουν ανώτερα αποτελέσματα επιτάξεως SiC και εκτεταμένη διάρκεια ζωής του υποδοχέα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤα TaC Coating Guide Rings είναι δακτύλιοι γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου τανταλίου, σχεδιασμένοι για χρήση σε κλιβάνους ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου για τη βελτίωση της ποιότητας των κρυστάλλων. Επιλέξτε το Semicorex για την προηγμένη τεχνολογία επίστρωσής του, εξασφαλίζοντας ανώτερη αντοχή, θερμική σταθερότητα και βελτιστοποιημένη απόδοση ανάπτυξης κρυστάλλων.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης