Στήριγμα κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TaC

Η βάση κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TaC είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης ειδικά σχεδιασμένο για το περιβάλλον ανάπτυξης υλικών ημιαγωγών. Ως κορυφαίος κατασκευαστής στηριγμάτων κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TTaC, η semicorex σας προσφέρει αποτελεσματικές λύσεις βασικών εξαρτημάτων στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών υψηλής τεχνολογίας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Το υπόστρωμα τουΕπικάλυψη TaCΗ θήκη κρυστάλλων σπόρων είναι συνήθως κατασκευασμένη από γραφίτη, καρβίδιο του πυριτίου ή σύνθετα υλικά άνθρακα/άνθρακα και στη συνέχεια εφαρμόζεται στην επιφάνειά του ένα στρώμα επικάλυψης TaC μέσω προηγμένης τεχνολογίας χημικής εναπόθεσης ατμών εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας (CVD). Η βάση κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TaC που κατασκευάζεται με αυτή τη μέθοδο έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, εξαιρετικά μηχανική αντοχή, καλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και αποτελεσματική θερμική αγωγιμότητα.

Η λειτουργία της θήκης κρυστάλλων σπόρων με επικάλυψη TaC

1.Λειτουργία υποστήριξης

Η θήκη κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση TaC της Semicorex παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα στήριξης για τους κρυστάλλους σπόρων, εξασφαλίζοντας ότι ο κρύσταλλος των σπόρων διατηρεί σταθερή τη θέση του κάτω από δύσκολες συνθήκες όπως υψηλή θερμοκρασία και υψηλό κενό. Αυτό αποτρέπει αποτελεσματικά ζητήματα όπως η μετατόπιση των κρυστάλλων ή η ζημιά από τους κραδασμούς και τη ροή του αέρα, και έτσι διασφαλίζεται η συνέχεια και η σταθερότητα της ανάπτυξης των κρυστάλλων.

2. Προστατευτική επίδραση

Η θήκη κρυστάλλων σπόρων με επικάλυψη TaC τοποθετείται πάνω από το καπάκι του χωνευτηρίου γραφίτη και απομονώνει το καπάκι γραφίτη από ατμούς Si υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό αποτρέπει αποτελεσματικά τη διάβρωση που προκαλείται από ατμούς και παρατείνει τη διάρκεια ζωής του καπακιού γραφίτη. Επιπλέον, η εγγενής χημική σταθερότητα και η αντίσταση στις θερμικές θερμοκρασίες της επικάλυψης TaC συμβάλλουν επίσης στη μείωση της εισαγωγής ακαθαρσιών, παρέχοντας ένα σταθερό και καθαρό περιβάλλον για την ανάπτυξη των κρυστάλλων σπόρων.

3. Έλεγχος θερμοκρασίας

Η βάση κρυστάλλων σπόρων με επίστρωση Semicorex TaC χρησιμοποιεί τεχνικές κατασκευής που βρίσκονται στην πρώτη γραμμή της βιομηχανίας. Ο ακριβής έλεγχος της θερμοκρασίας του θερμικού πεδίου μπορεί να επιτευχθεί βελτιστοποιώντας εξειδικευμένα το σχήμα, τις διαστάσεις και το πάχος επίστρωσής τους. Αυτό μειώνει σημαντικά τον ρυθμό ελαττώματος και προάγει αποτελεσματικά την ομοιόμορφη ανάπτυξη κρυστάλλων.