Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Ο δακτύλιος οδηγός επίστρωσης Semicorex TaC χρησιμεύει ως πρωταρχικό μέρος στον εξοπλισμό εναπόθεσης χημικών ατμών μετάλλων-οργανικών ουσιών (MOCVD), διασφαλίζοντας την ακριβή και σταθερή παροχή των πρόδρομων αερίων κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης. Ο δακτύλιος οδηγός επίστρωσης TaC αντιπροσωπεύει μια σειρά ιδιοτήτων που τον καθιστούν ιδανικό για αντοχή στις ακραίες συνθήκες που βρίσκονται μέσα στο θάλαμο του αντιδραστήρα MOCVD.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Wafer Chuck αποτελεί την κορυφή της καινοτομίας στη διαδικασία της επιταξίας ημιαγωγών, μια κρίσιμη φάση στην κατασκευή ημιαγωγών. Με τη δέσμευσή μας να παρέχουμε προϊόντα κορυφαίας ποιότητας σε ανταγωνιστικές τιμές, είμαστε έτοιμοι να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex MOCVD Susceptor with TaC Coating είναι ένα συστατικό αιχμής κατασκευασμένο σχολαστικά για βέλτιστη απόδοση σε διαδικασίες επιτάξεως ημιαγωγών στα συστήματα MOCVD. Η Semicorex είναι ακλόνητη στη δέσμευσή μας να παρέχουμε ανώτερα προϊόντα σε άκρως ανταγωνιστικές τιμές. Ανυπομονούμε να δημιουργήσουμε μια διαρκή συνεργασία μαζί σας στην Κίνα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex CVD TaC Coated Ring βασιλεύει ως κρίσιμο συστατικό στην επεξεργασία ημιαγωγών, συμβολίζοντας το ζενίθ της σύγχρονης μηχανικής υλικών. Κατασκευασμένος για εφαρμογή στα πιο αυστηρά περιβάλλοντα όπου κυριαρχούν η ακρίβεια και η αξιοπιστία, αυτός ο δακτύλιος ενσωματώνει τη συγχώνευση τεχνικών επίστρωσης αιχμής με την επιστήμη των ελαστικών υλικών. Η Semicorex παρέχει σταθερά προϊόντα κορυφαίας βαθμίδας σε ανταγωνιστικές τιμές και αναμένουμε με ανυπομονησία μια μακροχρόνια συνεργασία μαζί σας στην Κίνα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο για χρήση στις επιταξιακές διεργασίες της κατασκευής ημιαγωγών. Η Semicorex είναι αφοσιωμένη στην παροχή προϊόντων κορυφαίας ποιότητας σε ανταγωνιστικές τιμές. Ανυπομονούμε να δημιουργήσουμε μια μακροπρόθεσμη συνεργασία μαζί σας στην Κίνα.*
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ δακτύλιος οδηγός επίστρωσης καρβιδίου του τανταλίου Semicorex είναι ένα προηγμένο εξάρτημα ειδικά σχεδιασμένο για τη βιομηχανία ημιαγωγών, διαδραματίζοντας κρίσιμο ρόλο στην ανάπτυξη των κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις περιβαλλόντων υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης που είναι εγγενείς στις διαδικασίες ανάπτυξης κρυστάλλων ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης