Πλανητική πλάκα με επικάλυψη TaC

Η πλανητική πλάκα με επίστρωση Semicorex TaC χρησιμεύει ως βασικό συστατικό στους αντιδραστήρες MOCVD, επιδεικνύοντας ένα πλανητικό σχέδιο που χαρακτηρίζεται από πολυάριθμες τσέπες γκοφρέτας τοποθετημένες κατά μήκος της επιφάνειάς της. Αυτές οι τσέπες έχουν δημιουργηθεί ειδικά για να χωρούν αξιόπιστα τις γκοφρέτες κατά τη φάση ανάπτυξης οποιουδήποτε επιταξιακού στρώματος, σταθεροποιώντας τις γκοφρέτες υποστρώματος και ελαχιστοποιώντας την κίνηση του υποστρώματος κάτω από υψηλές θερμοκρασίες διεργασίας. Η ακριβής γεωμετρία του θύλακα παρέχει σταθερή τοποθέτηση γκοφρέτας που είναι σημαντική για ομοιόμορφο πάχος επιταξιακών στρωμάτων και επίπεδα ομοιομορφίας των ελαττωμάτων του υποστρώματος για όλες τις γκοφρέτες που αναπτύσσονται κατά την ίδια διαδικασία.

Μια σημαντική πτυχή σχεδιασμού της πλανητικής πλάκας, για άλλη μια φορά, είναι η μηχανική διασπορά λεπτών οπών ροής αερίου κατά μήκος της επιφάνειας της πλάκας. Αυτές οι οπές είναι προσεκτικά σχεδιασμένες και στρατηγικά τοποθετημένες ειδικά για να μετρούν τη ροή των πρόδρομων αερίων στον αντιδραστήρα, έτσι ώστε να επιτυγχάνεται ομοιόμορφη διασπορά και ομοιόμορφη εναπόθεση αερίου μεταξύ κάθε πλακιδίου. Σε οποιαδήποτε διεργασία MOCVD, οι πτυχές της δυναμικής του αερίου είναι κρίσιμες για τον προσδιορισμό της ποιότητας του φιλμ, της ομοιομορφίας του πάχους και της συνολικής απόδοσης της συσκευής. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός οπών στοΕπικάλυψη TaCΤο Planetary Plate διασφαλίζει ότι όλες οι γκοφρέτες βιώνουν τις ίδιες συνθήκες διεργασίας, γεγονός που παρέχει τον βέλτιστο τρόπο βελτίωσης της απόδοσης και της αναπαραγωγιμότητας.

ΟΕπικάλυψη TaC (καρβίδιο τανταλίου).επεκτείνει περαιτέρω την απόδοση και τη ζωή της πλανητικής πλάκας. Το καρβίδιο του τανταλίου είναι εξαιρετικά σκληρό, χημικά αδρανές και θερμικά αγώγιμο, καθιστώντας το μια εξαιρετική επίστρωση για ακραία περιβάλλοντα MOCVD. Κατά τη διάρκεια της επιταξίας, τα συστατικά στον αντιδραστήρα θα αντιμετωπίσουν υψηλές θερμοκρασίες, αντιδραστικά πρόδρομα αέρια και έκθεση στο πλάσμα. Η επίστρωση TaC χρησιμεύει ως ένα ισχυρό φράγμα στη διάβρωση, την οξείδωση και τη δημιουργία σωματιδίων για να έχει ως αποτέλεσμα σημαντική επέκταση της ζωής της πλανητικής πλάκας από μια μη επικαλυμμένη ή συμβατικά επικαλυμμένη πλάκα.

Η μακροζωία και η ανθεκτικότητα της πλανητικής πλάκας με επίστρωση TaC την καθιστούν μια οικονομικά αποδοτική επιλογή για συστήματα MOCVD. Το ανθεκτικό στρώμα TaC μπορεί να αντέξει τον επαναλαμβανόμενο θερμικό κύκλο και την έκθεση σε ακραία αέρια διεργασίας, διατηρώντας παράλληλα τη δομική ακεραιότητα και τη σταθερότητα της απόδοσης ενώ λειτουργεί σε εκτεταμένα χρονικά πλαίσια.