Ηλεκτρόδια πυριτίου μονοκρυστάλλου

Ηλεκτρόδια πυριτίου μονοκρυστάλλουεγκαθίστανται συνήθως στην κορυφή του θαλάμου χάραξης, χρησιμεύοντας ως το άνω ηλεκτρόδιο. Η επιφάνεια των μονοκρυσταλλικών ηλεκτροδίων πυριτίου διαθέτει ομοιόμορφα κατανεμημένες μικροτρύπες, οι οποίες μπορούν να μεταφέρουν ομοιόμορφα αέριο χάραξης στον θάλαμο αντίδρασης. Κατά τη διαδικασία χάραξης, συνεργάζονται με το κάτω ηλεκτρόδιο για να δημιουργήσουν ένα ομοιόμορφο ηλεκτρικό πεδίο, το οποίο συμβάλλει στην παροχή ιδανικών συνθηκών λειτουργίας για χάραξη ακριβείας.

Προσεκτικές επιλογές υλικών

Η Semicorex επιλέγει κορυφαίο μονοκρυσταλλικό πυρίτιο που καλλιεργείται σε MCZ για την κατασκευή ηλεκτροδίων πυριτίου μονοκρυστάλλου, προσφέροντας κορυφαία απόδοση και ποιότητα προϊόντος στον κλάδο.

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα

Τα ηλεκτρόδια μονοκρυσταλλικού πυριτίου Semicorex διαθέτουν εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα άνω του 99,9999999%, πράγμα που σημαίνει ότι η περιεκτικότητα σε εσωτερικές ακαθαρσίες μετάλλων είναι εξαιρετικά χαμηλή.

2. Εξαιρετική ομοιομορφία αντίστασης

Διαφορετικό από το συμβατικό μονοκρυσταλλικό πυρίτιο CZ, το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο που αναπτύσσεται σε MCZ που χρησιμοποιείται από τη Semicorex επιτυγχάνει ομοιομορφία ειδικής αντίστασης κάτω από 5%. Η χαμηλή του ανάλυση. ελέγχεται κάτω από 0,02 Ω·cm, μεσαία ανάλυση. είναι μεταξύ 0,2 και 25Ω·cm και υψηλή ανάλυση. είναι μεταξύ 70-90 Ω·cm (η προσαρμογή είναι διαθέσιμη κατόπιν αιτήματος).

3. Άριστη δομή υλικού

Το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο που αναπτύσσεται μέσω της μεθόδου MCZ προσφέρει πιο σταθερή δομή και λιγότερα ελαττώματα, κάνοντας τα ηλεκτρόδια μονοκρυσταλλικού πυριτίου Semicorex να παρέχουν αξιοσημείωτη αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος και να αντέχουν σε σκληρές συνθήκες λειτουργίας χάραξης.

---

Ακρίβεια επεξεργασίας υψηλών προδιαγραφών

Semicorexμονοκρυσταλλικό πυρίτιοΤα ηλεκτρόδια κατασκευάζονται μέσω μιας πλήρους διαδικασίας παραγωγής από ράβδο πυριτίου έως τελικό προϊόν, συμπεριλαμβανομένου του τεμαχισμού, της λείανσης επιφανειών, της διάνοιξης οπών, της υγρής χάραξης και της στίλβωσης επιφάνειας. Το Semicorex διατηρεί αυστηρό έλεγχο ακριβείας σε κάθε βήμα για να εξασφαλίσει ότι η διάμετρος, το πάχος, η επιπεδότητα της επιφάνειας, η απόσταση οπών και το άνοιγμα των ηλεκτροδίων διατηρούνται εντός ιδανικών ανοχών.

1. Επεξεργασία με μικροτρύπα

Οι μικρο-οπές στα μονοκρυστάλλινα ηλεκτρόδια πυριτίου διαθέτουν ομοιόμορφη απόσταση και σταθερές διαμέτρους (που κυμαίνονται από 0,2 έως 0,8 mm), με λεία εσωτερικά τοιχώματα χωρίς γρέζια. Αυτό εγγυάται αποτελεσματικά την ομοιόμορφη και σταθερή παροχή του αερίου χάραξης, διασφαλίζοντας έτσι την ομοιομορφία και την ακρίβεια της χάραξης γκοφρέτας.

2. Ακρίβεια επεξεργασίας

Η ακρίβεια επεξεργασίας των ηλεκτροδίων μονοκρυσταλλικού πυριτίου Semicorex ελέγχεται εντός 0,3 mm και η ακρίβεια στίλβωσής τους μπορεί να ελεγχθεί αυστηρά κάτω από 0,1 μm και η λεπτή λείανση είναι μικρότερη από 1,6 μm.