Η κεφαλή ντους μονοκρυστάλλου πυριτίου, γνωστή ως κεφαλή ψεκασμού αερίου ή πλάκα διανομής αερίου ή, είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη συσκευή διανομής αερίου σε διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για βασικά στάδια της διαδικασίας, όπως ο καθαρισμός, η χάραξη και η εναπόθεση. Η υψηλής ποιότητας και οικονομική κεφαλή ντους μονού κρυστάλλου πυριτίου είναι απαραίτητη για τη βελτίωση της ακρίβειας και της ποιότητας της κατασκευής τσιπ στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Semicorex μονοκρύσταλλο πυρίτιοντουςπαρουσιάζει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, χαμηλό συντελεστή διαστολής και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Προσαρμόζεται σταθερά στις σκληρές συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής διαβρωτικής ικανότητας και υψηλού κενού στην κατασκευή ημιαγωγών, παρουσιάζει εξαιρετική ανοχή σε αέρια επεξεργασίας όπως αέρια χάραξης και εναπόθεσης. Ως εκ τούτου, η κεφαλή ντους μονοκρυστάλλου πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες καθαρισμού ημιαγωγών, διεργασίες οξείδωσης, διαδικασίες εναπόθεσης και διεργασίες χάραξης.
Η Semicorex χρησιμοποιεί προηγμένες τεχνικές επεξεργασίας επιφανειών για να διασφαλίσει ότι η επιφάνεια της κεφαλής ντους μονοκρυστάλλου πυριτίου διαθέτει εξαιρετικά υψηλή επιπεδότητα και ομαλότητα. Εν τω μεταξύ, βασιζόμενη στον τυποποιημένο σχεδιασμό της δομής καναλιού και της διαδρομής αερίου, η επιφάνεια της κεφαλής ντους μονοκρυστάλλου πυριτίου κατανέμεται ομοιόμορφα με πολλούς πόρους ίδιας διαμέτρου (η ελάχιστη διάμετρος μπορεί να φτάσει τα 0,2 χιλιοστά). Η ανοχή διαμέτρου πόρων της κεφαλής ντους μονοκρυστάλλου πυριτίου ελέγχεται με ακρίβεια σε επίπεδο μικρομέτρου και το εσωτερικό τοίχωμα του πόρου πρέπει να είναι λείο και χωρίς γρέζια, διασφαλίζοντας την ακρίβεια κατανομής και την ομοιομορφία του αερίου διεργασίας από δομικές και διεργασιακές πτυχές.
Η Semicorex παρέχει εξειδικευμένες υπηρεσίες προσαρμογής για να καλύψει τις διάφορες ανάγκες των πελατών. Σύμφωνα με τις διάφορες ανάγκες των πελατών της, μπορεί να προσαρμόσει λύσεις εμφάνισης ώστε να ταιριάζουν στις διαστάσεις και τη μορφή των θαλάμων αντίδρασης τους. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός επιτρέπει στα πλακίδια να έρχονται σε πλήρη και σταθερή επαφή με το αέριο διεργασίας καθ' όλη τη διάρκεια της διαδικασίας αντίδρασης, διασφαλίζοντας ότι το αέριο διαχέεται ομοιόμορφα σε όλο τον θάλαμο αντίδρασης. Αυτό ενισχύει τελικά την αποδοτικότητα της παραγωγής και την ποιότητα των προϊόντων.