Σκάφος γκοφρέτας πυριτίου

Το Semicorex μπορεί να προσαρμόσει τη δομή του σκάφους γκοφρέτας πυριτίου, συμπεριλαμβανομένου του σχήματος ράβδου αυλάκωσης, του μήκους του δοντιού του αυλακιού, του σχήματος, της γωνίας κλίσης και της συνολικής ικανότητας φόρτωσης πλακιδίων, και μπορεί να παραχθεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη. Τα σκάφη πυριτίου υψηλής θερμοκρασίας μπορούν να μειώσουν αποτελεσματικά τη ζημιά επαφής στις γκοφρέτες πυριτίου και να βελτιώσουν την απόδοση της διαδικασίας. Η σχεδίαση υψηλής θερμοκρασίας "χωρίς ολίσθηση πύργους" υποστηρίζει γκοφρέτες μόνο στην άκρη του δοντιού στήριξης. Σε σύγκριση μεκαρβίδιο του πυριτίου, το πυρίτιο έχει σχετικά χαμηλή σκληρότητα, η οποία μειώνει τη μηχανική βλάβη στις γκοφρέτες, βελτιώνοντας έτσι τον ρυθμό διέλευσης του πλέγματος και μειώνοντας αποτελεσματικά το κόστος παραγωγής. Το σκάφος λιωμένου πυριτίου αποτελείται από διάφορα μέρη: δόντια, πλάκα βάσης και επάνω πλάκα, τα οποία είναι λιωμένα μεταξύ τους. Αυτό μειώνει το κόστος παραγωγής. Σε περίπτωση μερικής ζημιάς, τα κατεστραμμένα μέρη μπορούν να αντικατασταθούν χωρίς να αντικατασταθεί ολόκληρο το σκάφος πυριτίου, μειώνοντας σημαντικά το κόστος ιδιοκτησίας κατά τη χρήση. Επιπλέον, το σκάφος πυριτίου έχει ένα μεγάλο ανώτατο όριο εναπόθεσης πολυπυριτίου, το οποίο μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη συχνότητα του εξοπλισμού PM και να βελτιώσει την παραγωγική ικανότητα.

Το Semicorex Silicon Wafer Boat είναι ένας καινοτόμος, ειδικά σχεδιασμένος φορέας γκοφρέτας. Έχει δημιουργηθεί ειδικά για επεξεργασία σε φούρνο υψηλής θερμοκρασίας που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των διεργασιών οξείδωσης και αναγωγής σε θερμοκρασίες μεταξύ 1200 και 1250 °C. Διαθέτοντας πλεονεκτήματα απόδοσης που δεν είναι διαθέσιμα σε υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC), το Silicon Wafer Boat παρέχει πλεονεκτήματα σχετικά με τις αυστηρές διαδικασίες που απαιτεί η κατασκευή ημιαγωγών. Πρώτον, η εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα του υλικού πυριτίου είναι σημαντική. στην πραγματικότητα, τουλικό πυριτίουεπιτυγχάνει επίπεδα εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας πάνω από 9N (99,9999999%), διασφαλίζοντας έτσι ότι δεν θα μολύνουν μεταλλικές ή ξένες ακαθαρσίες την επεξεργασία της γκοφρέτας. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών αιχμής όπου η αξιοπιστία της απόδοσης και η απόδοση επηρεάζονται σε μεγάλο βαθμό από τη μόλυνση. Το Silicon Wafer Boat παρέχει ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον με υψηλό επίπεδο καθαρότητας κατάλληλο για τις πιο προηγμένες απαιτήσεις της βιομηχανίας για το χειρισμό πλακών που εκτίθενται σε πολύ υψηλές θερμοκρασίες για επεξεργασία οξείδωσης και αναγωγής.

Ένα άλλο όφελος τουυλικό πυριτίουείναι οι ιδιότητες χαμηλότερης σκληρότητάς του σε σύγκριση με το υλικό SiC. Οι ράβδοι ή τα σκάφη SiC είναι γνωστά για τη σκληρότητα και την αντοχή τους, αλλά η ίδια η ιδιότητά τους μπορεί να οδηγήσει σε δυσκολίες κατά την επεξεργασία της γκοφρέτας. Σε υψηλές θερμοκρασίες, οι γκοφρέτες θα μικρο-κινούνται. Θα αναπηδήσουν ελαφρά, θα μετατοπιστούν ελαφρά και θα στραβώσουν οι άκρες ενώ βρίσκονται μέσα στο σκάφος. Ένα σκληρότερο υλικό SiC μπορεί να εγκυμονεί υψηλότερους κινδύνους δημιουργίας σωματιδίων ή γρατσουνιών στο πίσω μέρος της γκοφρέτας καθώς οι ιδιότητες της γκοφρέτας και του σκάφους αλληλεπιδρούν κάτω από αυτές τις συνθήκες επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Το Silicon Wafer Boat μετριάζει αυτή την ανησυχία εκμεταλλευόμενη τον σχετικά απαλό χαρακτήρα του πυριτίου σε σχέση με το SiC. Η μείωση της σκληρότητας επιτρέπει τόσο λιγότερη τριβή όσο και μηχανική καταπόνηση όταν οι γκοφρέτες έρχονται σε επαφή με το σκάφος κατά τη διάρκεια των θερμικών κύκλων. Ως αποτέλεσμα, τα σωματίδια δημιουργούνται λιγότερο συχνά και ο κίνδυνος γρατσουνιών στο πίσω μέρος μειώνεται σχεδόν στο μηδέν. Επιπλέον, ελαχιστοποιώντας τα ελαττώματα της επιφάνειας, το Silicon Wafer Boat βελτιώνει άμεσα την ποιότητα του πλέγματος και αυξάνει το συνολικό ποσοστό πιστοποίησης των επεξεργασμένων πλακών. Για τα εργοστάσια ημιαγωγών που θέλουν να βελτιώσουν τις αποδόσεις με μέγιστο έλεγχο ποιότητας, αυτή η κατάσταση απόδοσης καθιστά το σκάφος πυριτίου μια ελκυστική επιλογή.

Το πυρίτιο προσφέρει καλή σταθερότητα και μηχανική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, επιτρέποντας στο σκάφος να εξυπηρετεί αξιόπιστα κατά τη διάρκεια επαναλαμβανόμενων κύκλων κλιβάνου. Το υλικό αντιστέκεται στη στρέβλωση κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης και ψύξης, και έτσι διατηρεί την ακριβή ανοχή τοποθέτησης και τοποθέτησης πλακιδίων ακόμη και κατά τη διάρκεια γρήγορων κύκλων κλιβάνου. Αυτή η θερμική ευρωστία παρέχει αξιόπιστα αποτελέσματα διεργασιών που είναι αρκετά συνεπή για παραγωγή μεγάλου όγκου με ελάχιστη διακύμανση μεταξύ των σειρών. Το Silicon Wafer Boat είναι κατασκευασμένο με μεγάλη ακρίβεια διαστάσεων για να εξασφαλίζει σταθερή τοποθέτηση και τοποθέτηση γκοφρέτας. Το σκάφος κατασκευάζεται με προηγμένη μηχανική κατεργασία και στίλβωση για τη δημιουργία λείων επιφανειών, στενής γεωμετρίας και αυστηρών ανοχών.