Δαχτυλίδι ασπίδας πυριτίου

Το Semicorex Silicon Shield Ring είναι ένα κρίσιμο συστατικό ημιαγωγού στη διαδικασία χάραξης. Η κύρια λειτουργία του είναι να περιβάλλει το ηλεκτρόδιο και να αποτρέπει την υπερβολική διαρροή πλάσματος. Με καθαρότητα υλικού που υπερβαίνει τα 9Ν (99,9999999%), ο δακτύλιος θωράκισης μπορεί να κατασκευαστεί τόσο από μονοκρυστάλλο όσο και από πολυκρυστάλλοπυρίτιο, εξασφαλίζοντας εξαιρετικά καθαρή λειτουργία και αξιόπιστη συμβατότητα με προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Ο ακριβής έλεγχος πλάσματος στη διαδικασία χάραξης CCP/ICP είναι απαραίτητος για την αποτελεσματική, ομοιόμορφη ταχύτητα χάραξης και την ποιότητα του πλακιδίου. Η ανεξέλεγκτη διαρροή πλάσματος έξω από την επιθυμητή περιοχή χάραξης θα μπορούσε να δημιουργήσει διάβρωση της επιφάνειας και μόλυνση ή να καταστρέψει τα εξαρτήματα στο εσωτερικό του θαλάμου. Ο δακτύλιος ασπίδας πυριτίου είναι μια αποτελεσματική, απλή λύση σε αυτό το πρόβλημα, που δημιουργήθηκε για να σχηματίσει ένα προστατευτικό φράγμα στην εξωτερική περίμετρο του ηλεκτροδίου, να περιορίσει το πλάσμα από την εξάπλωση έξω από την περιοχή στόχο και να περιορίσει τη χάραξη μόνο στην επιθυμητή περιοχή. Ο δακτύλιος ασπίδας πυριτίου λειτουργεί επίσης ως εξωτερικό ηλεκτρόδιο για τη σταθεροποίηση της κατανομής του πλάσματος και την παροχή πιο ομοιόμορφης ενέργειας στην επιφάνεια του πλακιδίου.

Οι θερμικές και ηλεκτρικές ιδιότητες του πυριτίου υποστηρίζουν περαιτέρω την απόδοση του δακτυλίου ασπίδας χάραξης. Η αντίστασή του σε υψηλές θερμοκρασίες διεργασίας παρέχει δομική ακεραιότητα κατά τη διάρκεια παρατεταμένης έκθεσης στο πλάσμα και η ηλεκτρική αγωγιμότητα του επιτρέπει στο εξάρτημα να λειτουργεί σωστά ως στοιχείο στο σύστημα ηλεκτροδίων. Μαζί, αυτές οι εφαρμογές ενισχύουν τον περιορισμό του πλάσματος και βελτιώνουν την ενεργειακή ομοιομορφία, γεγονός που επιτρέπει επαναλαμβανόμενα προφίλ χάραξης σε γκοφρέτες.

Η μηχανική ανοχή είναι ένα άλλο αξιοσημείωτο χαρακτηριστικό του δακτυλίου ασπίδας χάραξης πυριτίου. Κατασκευασμένο σε αυστηρές ανοχές, εξασφαλίζει ακριβή τοποθέτηση γύρω από το ηλεκτρόδιο και διατηρεί την απόσταση και τη γεωμετρία του θαλάμου. Αυτή η μηχανική ακρίβεια δημιουργεί επαναλαμβανόμενες συνθήκες διεργασίας για λιγότερη μεταβλητότητα μεταξύ μεμονωμένων δρομολογίων και βοηθά στην παραγωγή ημιαγωγών μεγάλου όγκου. Το ίδιο το υλικό έχει εξαιρετική συμβατότητα με περιβάλλοντα πλάσματος. Ως εκ τούτου, η διάβρωση της δομής του επιτρέπει να παρέχει συνήθως μεγάλη διάρκεια ζωής και σταθερότητα στην απόδοση της διαδικασίας.

Η ανθεκτικότητα και η οικονομική αποδοτικότητα είναι δύο ακόμη πολύτιμα οφέλη. Προστατεύοντας τα περιττά τμήματα του θαλάμου από το πλάσμα, ο δακτύλιος θωράκισης μειώνει τη φθορά σε άλλα κρίσιμα εξαρτήματα, γεγονός που μειώνει τις προσπάθειες συντήρησης και αυξάνει τον συνολικό χρόνο λειτουργίας. Η μεγάλη διάρκεια ζωής και η λιγότερο συχνή αντικατάσταση το καθιστούν μια οικονομικά αποδοτική λύση για τα εργοστάσια ημιαγωγών για την αύξηση της παραγωγικότητας και κατά συνέπεια τη μείωση του λειτουργικού κόστους.

ΟΠυρίτιοΟ δακτύλιος θωράκισης μπορεί επίσης να προσαρμοστεί για κάθε διαμόρφωση εργαλείου και προδιαγραφές διαδικασίας, καθώς είναι διαθέσιμοι σε διάφορα μεγέθη και γεωμετρίες για να χωρέσουν τους πολλούς διαφορετικούς θαλάμους χάραξης πλάσματος που κατασκευάζουν οι κατασκευαστές, ενώ εξακολουθούν να επιτυγχάνουν τη βέλτιστη εφαρμογή. Επιπλέον, οι επιφανειακές επεξεργασίες και η στίλβωση μπορούν να χρησιμοποιηθούν για περαιτέρω μείωση της παραγωγής σωματιδίων για εξαιρετικά καθαρά πρότυπα κατασκευής.