Σκάφος βάθρου πυριτίου

Το Semicorex Silicon Pedestal Boat είναι ένας εξαιρετικά καθαρός φορέας γκοφρέτας που έχει κατασκευαστεί με υψηλή καθαρότητα και ακρίβεια για να υποστηρίζει διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας όπως οξείδωση, διάχυση και LPCVD (Χημική Εναπόθεση ατμών χαμηλής πίεσης). Αυτός ο φορέας γκοφρέτας είναι κατασκευασμένος από 9N (99,9999999%)πυρίτιο υψηλής καθαρότηταςγια εξασφάλιση εξαιρετικής καθαριότητας, θερμικού συντελεστή σταθερότητας διαστολής και μηχανικής ακρίβειας για υποστήριξη γκοφρέτας και συνεπή έλεγχο της διαδικασίας σε εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα.

Καθώς οι γεωμετρίες των συσκευών ημιαγωγών συνεχίζουν να συρρικνώνονται, η ανάγκη για εξαιρετικά καθαρά και θερμικά συμβατά εξαρτήματα χειρισμού πλακιδίων δεν υπήρξε ποτέ τέτοια ζήτηση. Το Silicon Pedestal Boat ανταποκρίνεται σε αυτές τις απαιτήσεις με υψηλή ακρίβεια διαστάσεων και απαράμιλλη καθαρότητα για χρήση σε προηγμένα συστήματα κλιβάνων που λειτουργούν μεταξύ 1100°C και 1250°C.

Η δομή του σκάφους πυριτίου μπορεί να προσαρμοστεί για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις των πελατών, συμπεριλαμβανομένου του σχήματος ράβδου αυλάκωσης, του μήκους του δοντιού αυλάκωσης, του σχήματος, της γωνίας κλίσης και της συνολικής ικανότητας φόρτωσης πλακιδίων. Τα σκάφη πυριτίου υψηλής θερμοκρασίας μπορούν να μειώσουν αποτελεσματικά τη ζημιά επαφής στις γκοφρέτες πυριτίου, βελτιώνοντας την απόδοση της διαδικασίας. Η σχεδίαση υψηλής θερμοκρασίας "χωρίς ολίσθηση πύργους" υποστηρίζει γκοφρέτες μόνο στην άκρη του δοντιού στήριξης. Σε σύγκριση με το καρβίδιο του πυριτίου, το πυρίτιο είναι σχετικά λιγότερο σκληρό, μειώνοντας τη μηχανική βλάβη στις γκοφρέτες, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του πλέγματος και μειώνοντας αποτελεσματικά το κόστος παραγωγής.

Το σκάφος βάθρου είναι διαθέσιμο σεμονοκρυσταλλικό ή πολυκρυσταλλικό πυρίτιογια την απομάκρυνση των κινδύνων μόλυνσης που σχετίζονται με υλικά που δεν περιέχουν πυρίτιο. Η πλατφόρμα μοιράζεται την ίδια χημική σύνθεση με τις ενεργά χρησιμοποιούμενες γκοφρέτες, γεγονός που ελαχιστοποιεί τις ανεπιθύμητες αντιδράσεις ή τη διάχυση ιόντων κατά τη διάρκεια διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας. Η ομοιογένεια του υλικού μειώνει σημαντικά τη φυσική ταυτότητα των σωματιδίων και των μεταλλικών ακαθαρσιών για σταθερή υψηλή ποιότητα γκοφρέτας και υψηλή απόδοση συσκευής μέσω επαναλαμβανόμενων κύκλων παραγωγής.

Το Semicorex Silicon Pedestal Boat διαθέτει επακριβώς σχεδιασμένες υποδοχές γκοφρέτας, σε συνδυασμό με κατακόρυφες δομές στήριξης, διασφαλίζοντας ότι οι γκοφρέτες παραμένουν τέλεια ευθυγραμμισμένες και σε απόσταση κατά τη διάρκεια του κύκλου θέρμανσης. Η σταθερότητα των διαστάσεων του είναι εξαιρετική, διασφαλίζοντας ότι το σκάφος βάθρου δεν θα παραμορφώνεται, δεν λυγίζει ή μετατοπίζεται σε ακραίες θερμοκρασίες, παρέχοντας καλή θερμοκρασία και κατανομή αερίου σε κάθε γκοφρέτα. Αυτή η σταθερότητα διαστάσεων έχει άμεση, θετική επίδραση στην ομοιομορφία του πάχους του φιλμ κατά την οξείδωση και τη διάχυση και παρέχει χαμηλότερο αριθμό ελαττωμάτων καθώς και καλύτερη επαναληψιμότητα της διαδικασίας.

Το κύριο πλεονέκτημα του σκάφους βάθρου πυριτίου είναι οι βελτιστοποιημένες μηχανικές και θερμικές του ιδιότητες. Η σκληρότητα του πυριτίου σε σύγκριση με το SiC ή τον χαλαζία θα βοηθήσει στη μείωση των μικρογρατσουνιών και της δημιουργίας σωματιδίων λόγω της δόνησης ή της κίνησης του πλακιδίου κατά τη διάρκεια της θερμαινόμενης διαστολής. Αυτό ισχύει ιδιαίτερα για γκοφρέτες ευαίσθητες στο πίσω μέρος, όπου η ακεραιότητα της επιφάνειας του πλακιδίου είναι κρίσιμη για την απόδοση και την απόδοση της συσκευής.

Το σκάφος βάθρου έχει καλή θερμική αγωγιμότητα και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής που παρέχει χαρακτηριστικά μεταφοράς θερμότητας ενώ διατηρεί το σχήμα και τη δομική σταθερότητα με πολλαπλούς κύκλους θέρμανσης και ψύξης. Ο στιβαρός σχεδιασμός παρέχει επίσης μεγάλη διάρκεια ζωής με ελάχιστη παραμόρφωση λόγω ακραίων συνθηκών κλιβάνου.

Το Semicorex παρέχει προσαρμοσμένα σχέδια για μια ποικιλία διαμορφώσεων εξοπλισμού, συμπεριλαμβανομένης της διαμέτρου γκοφρέτας, του αριθμού θυρίδων, του ύψους του βάθρου και των παραλλαγών της γεωμετρίας. Κάθε προϊόν ελέγχεται για καθαρότητα, μετράται σε διαστάσεις και δοκιμάζεται για θερμική αγωγιμότητα, όλα για να πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.

Το Silicon Pedestal Boat είναι συμβατό με διεργασίες οξείδωσης και διάχυσης καθώς και με εφαρμογές LPCVD και ανόπτησης που απαιτούν αξεπέραστη ομοιομορφία θερμοκρασίας και έλεγχο μόλυνσης. Το Silicon Pedestal Boat είναι συμβατό με άλλα εξαρτήματα φούρνου πυριτίου, όπως ο σωλήνας έγχυσης, ο σωλήνας επένδυσης του θαλάμου και το σύστημα ταιριάσματος του υλικού και η γκοφρέτα.