Γκοφρέτα μεταφοράς

· Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: διευκολύνει την αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας, απαραίτητη κατά τις διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών.

· Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: η επίστρωση SiC αντέχει σε ακραία θερμικά περιβάλλοντα, διασφαλίζοντας ότι ο φορέας διατηρεί την απόδοσή του καθ' όλη τη διάρκεια του θερμικού κύκλου στον αντιδραστήρα.

· Αντοχή στη χημική διάβρωση: η επίστρωση SiC βελτιώνει σημαντικά την αντίσταση του φορέα στην οξείδωση και τη διάβρωση από τα αντιδραστικά αέρια που συναντώνται συχνά κατά τη διάρκεια της επιταξίας.

· Σταθερότητα διαστάσεων: ο συνδυασμός SiC και γραφίτη διασφαλίζει ότι ο φορέας διατηρεί το σχήμα και την ακρίβειά του με την πάροδο του χρόνου, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο παραμόρφωσης κατά τη διάρκεια μεγάλων διαδικασιών.

Εφαρμογές στην Ανάπτυξη Επιτάξεως Ημιαγωγών

Η επιταξία είναι μια διαδικασία όπου ένα λεπτό στρώμα υλικού ημιαγωγού εναποτίθεται σε ένα υπόστρωμα, συνήθως μια γκοφρέτα, για να σχηματίσει μια δομή κρυσταλλικού πλέγματος. Κατά τη διάρκεια αυτής της διαδικασίας, ο ακριβής χειρισμός του πλακιδίου είναι κρίσιμος, καθώς ακόμη και μικρές αποκλίσεις στην τοποθέτηση του πλακιδίου μπορεί να οδηγήσουν σε ελαττώματα ή παραλλαγές στη δομή του στρώματος.

Το Wafer Carrier διαδραματίζει βασικό ρόλο στη διασφάλιση ότι οι γκοφρέτες ημιαγωγών συγκρατούνται με ασφάλεια και τοποθετούνται σωστά κατά τη διάρκεια αυτής της διαδικασίας. Ο συνδυασμός γραφίτη επικαλυμμένου με SiC παρέχει τα απαιτούμενα χαρακτηριστικά απόδοσης για την επιταξία με καρβίδιο του πυριτίου (SiC), μια διαδικασία που περιλαμβάνει την ανάπτυξη κρυστάλλων SiC υψηλής καθαρότητας για χρήση σε ηλεκτρονικά ισχύος, οπτοηλεκτρονική και άλλες προηγμένες εφαρμογές ημιαγωγών.

Συγκεκριμένα, το Wafer Carrier:

· Παρέχει ακριβή ευθυγράμμιση της γκοφρέτας: Εξασφάλιση ομοιομορφίας στην ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος κατά μήκος της γκοφρέτας, η οποία είναι κρίσιμη για την απόδοση και την απόδοση της συσκευής.

· Αντέχει σε θερμικούς κύκλους: Ο γραφίτης με επίστρωση SiC παραμένει σταθερός και αξιόπιστος, ακόμη και σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας έως 2000°C, εξασφαλίζοντας συνεπή χειρισμό πλακιδίων σε όλη τη διαδικασία.

· Ελαχιστοποιεί τη μόλυνση της γκοφρέτας: Η σύνθεση υλικού υψηλής καθαρότητας του φορέα διασφαλίζει ότι η γκοφρέτα δεν εκτίθεται σε ανεπιθύμητους ρύπους κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης.

Στους αντιδραστήρες επιτάξεως ημιαγωγών, ο φορέας Wafer τοποθετείται εντός του θαλάμου του αντιδραστήρα, όπου λειτουργεί ως πλατφόρμα στήριξης για το πλακίδιο. Ο φορέας επιτρέπει στην γκοφρέτα να εκτεθεί σε υψηλές θερμοκρασίες και σε αντιδραστικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης χωρίς να διακυβεύεται η ακεραιότητα της γκοφρέτας. Η επίστρωση SiC αποτρέπει τις χημικές αλληλεπιδράσεις με τα αέρια, διασφαλίζοντας την ανάπτυξη υλικού υψηλής ποιότητας, χωρίς ελαττώματα.

Πλεονεκτήματα του φορέα γκοφρέτας γραφίτη με επικάλυψη SiC

1. Ενισχυμένη ανθεκτικότητα: Η επίστρωση SiC αυξάνει την αντοχή στη φθορά του υλικού γραφίτη, μειώνοντας τον κίνδυνο υποβάθμισης σε πολλαπλές χρήσεις.

2. Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες: Ο φορέας γκοφρέτας μπορεί να ανεχθεί τις ακραίες θερμοκρασίες που είναι κοινές στους επιταξιακούς κλιβάνους ανάπτυξης, διατηρώντας τη δομική του ακεραιότητα χωρίς παραμόρφωση ή ρωγμές.

3. Βελτιωμένη απόδοση και αποτελεσματικότητα διεργασίας: Με τη διασφάλιση του ασφαλούς και συνεπούς χειρισμού των γκοφρετών, ο φορέας γκοφρέτας γραφίτη με επίστρωση SiC συμβάλλει στη βελτίωση της συνολικής απόδοσης και αποτελεσματικότητας της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης.

4. Επιλογές προσαρμογής: Ο φορέας μπορεί να προσαρμοστεί ως προς το μέγεθος και τη διαμόρφωση για να καλύψει τις συγκεκριμένες ανάγκες διαφορετικών επιταξιακών αντιδραστήρων, παρέχοντας ευελιξία για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών ημιαγωγών.

SemicorexΓραφίτης επικαλυμμένος με SiCΤο Wafer Carrier είναι ένα κρίσιμο συστατικό στη βιομηχανία ημιαγωγών, παρέχοντας τη βέλτιστη λύση για το χειρισμό της γκοφρέτας κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης. Με τον συνδυασμό θερμικής σταθερότητας, χημικής αντοχής και μηχανικής αντοχής, διασφαλίζει τον ακριβή και αξιόπιστο χειρισμό των γκοφρετών ημιαγωγών, οδηγώντας σε αποτελέσματα υψηλότερης ποιότητας και βελτιωμένη απόδοση στις διαδικασίες επιταξίας. Είτε πρόκειται για επιταξία καρβιδίου του πυριτίου είτε για άλλες προηγμένες εφαρμογές ημιαγωγών, αυτός ο φορέας γκοφρέτας προσφέρει την ανθεκτικότητα και την απόδοση που απαιτούνται για να ανταποκριθεί στα απαιτητικά πρότυπα της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών.