Δέκτης γκοφρέτας

Το Semicorex Wafer Susceptor είναι κατασκευασμένο επιδέξια από γραφίτη και επικαλυμμένο με καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές συνθήκες της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών.

Στις διαδικασίες της επιταξίας, η διατήρηση ενός σταθερού και ελεγχόμενου περιβάλλοντος είναι απολύτως απαραίτητη. Το Wafer Susceptor χρησιμεύει ως η βασική πλατφόρμα πάνω στην οποία τοποθετούνται οι γκοφρέτες κατά την εναπόθεση, ικανοποιώντας ακριβείς απαιτήσεις για ομοιομορφία θερμοκρασίας, χημική αδράνεια και μηχανική αντοχή για την επίτευξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας.

Η επιλογή του γραφίτη ως υλικού βάσης για το Wafer Susceptor οφείλεται στην εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και τις μηχανικές του ιδιότητες. Η ικανότητα του γραφίτη να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες διατηρώντας παράλληλα τη δομική ακεραιότητα είναι ζωτικής σημασίας στα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας των αντιδραστήρων επιταξίας. Επιπλέον, η θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη εξασφαλίζει αποτελεσματική κατανομή θερμότητας σε όλη τη γκοφρέτα, μειώνοντας τον κίνδυνο διαβαθμίσεων θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να οδηγήσουν σε ελαττώματα στο επιταξιακό στρώμα.

Για να βελτιωθεί η απόδοση του Wafer Susceptor, μια επικάλυψη καρβιδίου του πυριτίου (SiC) εφαρμόζεται επιδέξια στη βάση γραφίτη. Το SiC είναι ένα εξαιρετικά ανθεκτικό υλικό με ανώτερη χημική αντοχή, καθιστώντας το ιδανικό για χρήση σε περιβάλλοντα ημιαγωγών όπου συχνά υπάρχουν αντιδραστικά αέρια. Η επίστρωση SiC παρέχει ένα προστατευτικό φράγμα που προστατεύει τον γραφίτη από πιθανές χημικές αντιδράσεις, διασφαλίζοντας τη μακροζωία του υποδοχέα πλακιδίων και διατηρώντας ένα καθαρό περιβάλλον μέσα στον αντιδραστήρα.

Το Semicorex Wafer Susceptor κατασκευασμένο από γραφίτη επικαλυμμένο με SiC είναι ένα απαραίτητο συστατικό στις διαδικασίες ημιαγωγικής επιταξίας. Ο συνδυασμός των θερμικών και μηχανικών ιδιοτήτων του γραφίτη με τη χημική και θερμική σταθερότητα του καρβιδίου του πυριτίου το καθιστά ιδανικό για τις αυστηρές απαιτήσεις της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών. Ο σχεδιασμός μονής γκοφρέτας προσφέρει ακριβή έλεγχο στη διαδικασία της επιταξίας, συμβάλλοντας στην παραγωγή συσκευών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας. Αυτός ο υποδοχέας διασφαλίζει ότι ο χειρισμός των γκοφρετών γίνεται με τη μέγιστη προσοχή και ακρίβεια, με αποτέλεσμα ανώτερα επιταξιακά στρώματα και προϊόντα ημιαγωγών με καλύτερη απόδοση.