Δίσκος μεταφοράς γκοφρέτας

Η Semicorex παρέχει κεραμικά ποιότητας ημιαγωγών για τα εργαλεία ημικατασκευής OEM και τα εξαρτήματα χειρισμού πλακιδίων που εστιάζουν σε στρώματα καρβιδίου του πυριτίου στις βιομηχανίες ημιαγωγών. Είμαστε κατασκευαστής και προμηθευτής δίσκου μεταφοράς γκοφρέτας για πολλά χρόνια. Ο δίσκος μεταφοράς γκοφρέτας έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει τις περισσότερες από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Όχι μόνο για φάσεις απόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η επιταξία ή το MOCVD, ή η επεξεργασία χειρισμού γκοφρέτας, η Semicorex παρέχει εξαιρετικά καθαρό κεραμικό φορέα που χρησιμοποιείται για την υποστήριξη γκοφρετών. Στον πυρήνα της διαδικασίας, ο δίσκος μεταφοράς γκοφρέτας για το MOCVD, υποβάλλονται πρώτα στο περιβάλλον εναπόθεσης, επομένως έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση. Ο φορέας με επίστρωση SiC έχει επίσης υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες διανομής θερμότητας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για το δίσκο μεταφοράς γκοφρέτας.

Παράμετροι δίσκου μεταφοράς γκοφρέτας

Τεχνικές Ιδιότητες
Δείκτης	Μονάδα	Αξία
Όνομα υλικού		Αντίδραση πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο πυριτίου	Καρβίδιο πυριτίου χωρίς πίεση	Ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου
Σύνθεση		RBSiC	SSiC	R-SiC
Χύδην πυκνότητα	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Δύναμη κάμψης	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Αντοχή σε Θλίψη	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Σκληρότητα	Κουμπί	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Θερμική αγωγιμότητα	W/m.k	95	120	23
Συντελεστής Θερμικής Διαστολής	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ειδική Θερμότητα	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Μέγιστη θερμοκρασία στον αέρα	℃	1200	1500	1600
Μέτρο ελαστικότητας	Gpa	360	410	240

Η διαφορά μεταξύ SSiC και RBSiC:

1. Η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης είναι διαφορετική. Το RBSiC πρόκειται να διεισδύσει ελεύθερο Si σε καρβίδιο του πυριτίου σε χαμηλή θερμοκρασία, το SSiC σχηματίζεται από φυσική συρρίκνωση στους 2100 μοίρες.

2. Τα SSiC έχουν λεία επιφάνεια, υψηλότερη πυκνότητα και μεγαλύτερη αντοχή, για ορισμένες σφραγίσεις με πιο αυστηρές απαιτήσεις επιφάνειας, το SSiC θα είναι καλύτερο.

3. Διαφορετικός χρόνος χρήσης κάτω από διαφορετικό PH και θερμοκρασία, το SSiC είναι μεγαλύτερο από το RBSiC

Χαρακτηριστικά του δίσκου μεταφοράς γκοφρέτας

- Επιστρώσεις καρβιδίου πυριτίου CVD για βελτίωση της διάρκειας ζωής.
- Θερμομόνωση κατασκευασμένη από καθαρό άκαμπτο άνθρακα υψηλής απόδοσης.
- Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.
- Γραφίτης υψηλής καθαρότητας και επίστρωση SiC για αντοχή στις τρύπες και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής

Διαθέσιμα σχήματα κεραμικών καρβιδίου του πυριτίου:

● Κεραμική ράβδος / κεραμική περόνη / κεραμικό έμβολο

● Κεραμικός σωλήνας / κεραμικός δακτύλιος / κεραμικό χιτώνιο

● Κεραμικός δακτύλιος / κεραμική ροδέλα / κεραμικός αποστάτης

● Κεραμικός δίσκος

● Κεραμική πλάκα / κεραμικό μπλοκ

● Κεραμική μπάλα

● Κεραμικό έμβολο

● Κεραμικό ακροφύσιο

● Κεραμικό χωνευτήριο

● Άλλα προσαρμοσμένα κεραμικά μέρη