Η Semicorex είναι ο συνεργάτης σας για προηγμένα εξαρτήματα και συγκροτήματα γραφίτη για την υποστήριξη υψηλότερης απόδοσης και καλύτερες αποδόσεις στον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών σας. Οι ειδικοί μας στα υλικά είναι έτοιμοι να συνεργαστούν μαζί σας για να αναπτύξουν τη βέλτιστη σωστή λύση για τις απαιτήσεις χειρισμού, θέρμανσης και επεξεργασίας πλακιδίων. Το Ceramic End Effector έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει πολλές από τις ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Το Ceramic End Effector είναι το χέρι του ρομπότ που μετακινεί τις γκοφρέτες ημιαγωγών μεταξύ των θέσεων του εξοπλισμού επεξεργασίας πλακιδίων και των φορέων. Ο τελικός τελεστής πρέπει να είναι ακριβής ως προς τις διαστάσεις και θερμικά σταθερός, ενώ έχει μια λεία, ανθεκτική στην τριβή επιφάνεια για να χειρίζεται με ασφάλεια τις γκοφρέτες χωρίς να καταστρέφει τις συσκευές ή να προκαλεί σωματιδιακή μόλυνση. Το κεραμικό τελικό αποτέλεσμα καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντοχή.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικού κεραμικού τελικού τελεστή, δίνουμε προτεραιότητα στην ικανοποίηση των πελατών και παρέχουμε οικονομικά αποδοτικές λύσεις. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα υψηλής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Παράμετροι Ceramic End Effector
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του κεραμικού End Effector υψηλής καθαρότητας
● Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
● Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
● Επικάλυψη με λεπτό κρύσταλλο SiC για λεία επιφάνεια
● Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
● Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.