MOCVD Καπάκι θαλάμου κενού

Το καπάκι θαλάμου κενού MOCVD που χρησιμοποιείται στην ανάπτυξη κρυστάλλων και στην επεξεργασία του χειρισμού γκοφρέτας πρέπει να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Το καπάκι θαλάμου κενού Semicorex με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου MOCVD έχει σχεδιαστεί ειδικά για αυτά τα απαιτητικά περιβάλλοντα. Τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτουν πολλές από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Τα συστατικά Semicorex Graphite είναι γραφίτης υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένος με SiC, που χρησιμοποιείται στη διαδικασία για την ανάπτυξη της διεργασίας μονού κρυστάλλου και γκοφρέτας. Η σύνθεση MOCVD Vacuum Chamber Lid Compound έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, είναι ανθεκτική στην εμπειρία ενός συνδυασμού πτητικών πρόδρομων αερίων, πλάσματος και υψηλής θερμοκρασίας.

Στη Semicorex, δεσμευόμαστε να παρέχουμε προϊόντα και υπηρεσίες υψηλής ποιότητας στους πελάτες μας. Χρησιμοποιούμε μόνο τα καλύτερα υλικά και τα προϊόντα μας έχουν σχεδιαστεί για να πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα ποιότητας και απόδοσης. Το καπάκι του θαλάμου κενού MOCVD δεν αποτελεί εξαίρεση. Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το πώς μπορούμε να σας βοηθήσουμε με τις ανάγκες επεξεργασίας γκοφρέτας ημιαγωγών.

Παράμετροι καπακιού θαλάμου κενού MOCVD

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπτική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300