Σκάφη

Τα σκαφών Semicorex Wafer που κατασκευάζονται από καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC) αποτελούν βασικά συστατικά στην κατασκευή ημιαγωγών. Οι διεργασίες ημιαγωγών στις οποίες χρησιμοποιούνται συνήθως περιλαμβάνουν περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρώσεως όπως η διάχυση, η οξείδωση και οι διεργασίες LPCVD. Η εφαρμογή των σκαφών SIC Wafer έχει σχεδιαστεί για να μεγιστοποιήσει τη θερμική σταθερότητα και τη χημική αντίσταση, επιτρέποντας τη βέλτιστη υποστήριξη, την ευθυγράμμιση και τη μεταφορά των δισκίων πυριτίου κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας για βέλτιστες αποδόσεις και απόδοση συσκευών.

Το καρβίδιο του πυριτίου είναι καλά τεκμηριωμένο ως ένα εξαιρετικό θερμικά αγώγιμο κεραμικό, παρουσιάζοντας υψηλή μηχανική αντοχή και ανώτερη αντοχή σε θερμικό σοκ, αντοχή στην οξείδωση και επιθετική χημική αντοχή με χημικές ουσίες όπως HF και HCl. Οι ιδιότητες του SIC το καθιστούν ιδιαίτερα ελκυστικές ως υλικό για σκάφη με πλακίδια για διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών επόμενης γενιάς και σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Τα σκάφη SIC θα μπορούν να διατηρήσουν τη δομική ακεραιότητα και τη σταθερότητα των διαστάσεων σε θερμοκρασίες διεργασίας> 1500 ° C, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο στρέβλωσης ή μόλυνσης των πλακιδίων σε κρίσιμες θερμικές θεραπείες.

Κάθε sicσκάφοςκατασκευάζεται από SIC υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιώντας προηγμένες διαδικασίες σχηματισμού κεραμικών και πυροσυσσωμάτωσης και μπορεί να προσαρμοστεί σε εκτεταμένη γκάμα διαμέτρων πλακιδίων (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) καθώς και διαμορφώσεις στοίβαξης είτε κάθετη είτε οριζόντια. Τα σκάφη SIC μας έχουν ομαλές επιφάνειες και εξαιρετική επίπεδη επίπεδη παραγωγή σωματιδίων και είναι ιδανικά για αυτοματοποιημένα συστήματα χειρισμού πλακιδίων.

Ο έλεγχος και η απόδοση της μόλυνσης είναι δύο από τα πιο κρίσιμα ζητήματα στα σύγχρονα FABs. Η καθαριότητα και η αξιοπιστία των μεταφορέων του SIC SIC επηρεάζουν την απόδοση της ποιότητας και της συνεκτικότητας του προϊόντος.  Τα σκάφη SIC Wafer έχουν πολύ καλύτερη μακροζωία για χρήση, έχουν λιγότερες απαιτήσεις συντήρησης και χαμηλότερες TCO από τις εναλλακτικές λύσεις που βασίζονται σε χαλαζία ή αλουμίνα. Η καλύτερη μακροζωία σημαίνει επίσης λιγότερα προβλήματα με την απόρριψη μικρο-σωματιδίων, επομένως και πάλι, επηρεάζοντας την καθαριότητα της επιφάνειας του δίσκου και επηρεάζοντας την καθαριότητα του καθαρού χώρου.

Το Semicorex επικεντρώνεται στο σχεδιασμό και την κατασκευή σκάφους SIC που χρησιμοποιούν την υψηλότερη δυνατή καθαρότητα των πρώτων υλών σε συνδυασμό με την ατμόσφαιρα χαμηλής μόλυνσης.  Καταβάλλουμε κάθε δυνατή προσπάθεια για να διατηρήσουμε τα χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών, να διατηρήσουμε το πορώδες σε χαμηλή αξία και την ομοιόμορφη μικροδομή, ώστε η εργασία της ομάδας να μπορεί να απολαμβάνει τακτικά σταθερά θερμικά χαρακτηριστικά, ακριβή απόσταση δίσκων και απαράμιλλη αντοχή χημικής αποικοδόμησης.

Semicorex Sicσκάφηείναι ένα απαραίτητο στοιχείο επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας των ημιαγωγών. Τα σκάφη με γουρουνάκι υψηλής καθαρότητας έχουν απαράμιλλη χαρακτηριστικά υλικού, μηχανική αριστεία και ιδιοσυγκρασία χωρίς μόλυνση, τους καθιστούν την επιλογή υψηλού επιπέδου για κατασκευή υψηλής απόδοσης. Το Semicorex παρέχει την αξιοπιστία και την καινοτόμο υψηλές επιδόσεις για να υποστηρίξει τις πιο κρίσιμες διαδικασίες ημιαγωγών αποστολής.