Κάθετη βάρκα γκοφρέτα

Το Semicorex Vertical Wafer Boat είναι ένας ειδικά σχεδιασμένος φορέας για πολλαπλές γκοφρέτες που μεγιστοποιεί την απόδοση χώρου μέσα στους θαλάμους επεξεργασίας. Αυτά τα κατακόρυφα Wafer Boat έχουν τυπικά ορθογώνιο ή κυλινδρικό σχήμα και κάθε σκάφος έχει υποδοχές ή τσέπες επεξεργασμένες με ακρίβεια που είναι τοποθετημένες σε απόσταση για να συγκρατούν με ασφάλεια μεμονωμένες γκοφρέτες σε όρθια θέση. Το Vertical Wafer Boat είναι κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) το οποίο παρέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, διαβρωτικά χημικά και μηχανικές καταπονήσεις, καθιστώντας τα ιδανικά για την προστασία των γκοφρετών από πιθανή ζημιά.

Κατά την κατασκευή ημιαγωγών, οι γκοφρέτες υφίστανται πολυάριθμες περίπλοκες διεργασίες, όπως διάχυση, RTP και θερμικά πεδία. Το Vertical Wafer Boat παίζει ζωτικό ρόλο στη διευκόλυνση αυτών των διαδικασιών, χρησιμεύοντας ως φορέας για γκοφρέτες, επιτρέποντας την απρόσκοπτη μεταφορά μεταξύ διαφορετικού εξοπλισμού και σταδίων. Ο κατακόρυφος προσανατολισμός του ελαχιστοποιεί το αποτύπωμα μέσα στους θαλάμους επεξεργασίας, βελτιστοποιώντας την απόδοση και επιτρέποντας τον αποτελεσματικό χειρισμό μεγάλων παρτίδων γκοφρετών.

Το Semicorex Vertical Wafer Boat είναι ο ακρογωνιαίος λίθος της επεξεργασίας ημιαγωγών, παρέχοντας μια στιβαρή και αξιόπιστη λύση για τον ασφαλή χειρισμό και τη μεταφορά πλακών σε διάφορα στάδια κατασκευής. Ο προηγμένος σχεδιασμός του, σε συνδυασμό με τις εξαιρετικές ιδιότητες του SiC, υπογραμμίζει τον κεντρικό του ρόλο στην παραγωγή συσκευών ημιαγωγών αιχμής.