Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Ο επικαλυμμένος δακτύλιος με καρβίδιο τανταλίου Semicorex είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται στην επεξεργασία ημιαγωγών. Είναι σχεδιασμένο με μια εξειδικευμένη επίστρωση που εξυπηρετεί πολλαπλές λειτουργίες για την ενίσχυση της αποτελεσματικότητας και της μακροζωίας των εξαρτημάτων γραφίτη σε μηχανήματα ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤα Semicorex TaC Coated Graphite Parts είναι εξαρτήματα κατασκευασμένα με ακρίβεια που είναι ειδικά σχεδιασμένα για να αντέχουν στο απαιτητικό περιβάλλον της επεξεργασίας ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Graphite Cover αντιπροσωπεύει μια λύση αιχμής στον τομέα των θερμικών εφαρμογών για την ανάπτυξη κρυστάλλων και τις επιταξιακές (epi) διεργασίες. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Ring αποτελεί βασικό συστατικό στη σφαίρα της ανάπτυξης μονοκρυστάλλων εντός του θερμικού πεδίου. Κατασκευασμένο με ακρίβεια και καινοτομία, αυτός ο εξειδικευμένος δακτύλιος οδηγός παίζει καθοριστικό ρόλο στην περίπλοκη διαδικασία παραγωγής μονοκρυσταλλικού υλικού. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται σε φούρνους Μεταλλο-Οργανικής Χημικής Εναπόθεσης Ατμών (MOCVD) για ημιαγωγική επιταξιακή (epi) επεξεργασία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ επικαλυμμένη πλάκα με καρβίδιο τανταλίου Semicorex TaC είναι μια λύση αιχμής σχεδιασμένη να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα στο στάδιο της επιταξιακής (epi) επεξεργασίας. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης