Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Semicorex TaC Coated Guide Ring, κορυφαία καινοτομία στους κλιβάνους ανάπτυξης μονού κρυστάλλου SiC (καρβίδιο πυριτίου). Σχεδιασμένος σχολαστικά για να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών, αυτός ο δακτύλιος οδηγός υπόσχεται να επαναπροσδιορίσει τις διαδικασίες ανάπτυξης κρυστάλλου με απαράμιλλη ακρίβεια και αξιοπιστία.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςSemicorex τελευταίας τεχνολογίας TaC Coated Graphite Susceptor, ένα επαναστατικό συστατικό που έχει σχεδιαστεί για να ανυψώσει τη διαδικασία της επιταξιακής γκοφρέτας σας σε νέα ύψη αποτελεσματικότητας και ακρίβειας. Κατασκευασμένο με απαράμιλλη τεχνογνωσία και χρησιμοποιώντας τεχνολογία αιχμής, το Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex παρέχει εξαρτήματα γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου υψηλής ποιότητας με προσαρμοσμένη υπηρεσία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ Semicorex παρέχει εξατομικευμένη υπηρεσία με επικάλυψη γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΟ πορώδης γραφίτης Semicorex Coated TaC, είναι ένα προηγμένο υλικό υψηλής καθαρότητας για την επεξεργασία ημιαγωγών. Αυτό το κρίσιμο κομμάτι του εξοπλισμού διαδραματίζει κεντρικό ρόλο στη διαδικασία ανάπτυξης μονοκρυστάλλου SiC. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΩς επαγγελματική κατασκευή, θα θέλαμε να σας παρέχουμε δακτυλίους με επίστρωση TaC. Παρουσιάζουμε το CVD Tac Coated Ring, μια λύση αιχμής για εξοπλισμό ημιαγωγών. Αυτό το προϊόν αιχμής διαθέτει προηγμένη επίστρωση απόθεσης χημικών ατμών (CVD) που παρέχει εξαιρετική αντοχή και αντοχή στη φθορά.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης