Δακτύλιος σφράγισης με επίστρωση TaC

Ο δακτύλιος σφράγισης με επίστρωση Semicorex TaC παρουσιάζει εξαιρετική αδράνεια σε ένα ευρύ φάσμα διαβρωτικών αερίων και χημικών ουσιών που χρησιμοποιούνται σε διεργασίες ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των χημικών χημικών ουσιών χάραξης πλάσματος (π.χ. φθόριο, χλώριο, βρώμιο), προσμείξεις (π. καθαριστικά. Αυτή η αδράνεια αποτρέπει την υποβάθμιση της σφραγίδας και τη μόλυνση των ευαίσθητων θαλάμων διεργασίας.

Και με σημείο τήξης που ξεπερνά τους 3800°C, ο στεγανοποιητικός δακτύλιος με επικάλυψη TaC διατηρεί τη δομική του ακεραιότητα και τη μηχανική του αντοχή στις υψηλές θερμοκρασίες που συναντώνται κατά την επεξεργασία του πλακιδίου. Αυτό εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση σφράγισης κατά τις διαδικασίες ανόπτησης, εναπόθεσης και χάραξης σε υψηλή θερμοκρασία.

Η εξαιρετική σκληρότητα και ο χαμηλός συντελεστής τριβής του στεγανοποιητικού δακτυλίου με επίστρωση TaC παρέχουν εξαιρετική αντοχή στη φθορά, τις γρατσουνιές και την τριβή. Αυτό είναι κρίσιμο σε εφαρμογές δυναμικής σφράγισης όπου η επαναλαμβανόμενη κίνηση ή η επαφή με γκοφρέτες και άλλα εξαρτήματα μπορεί να οδηγήσει σε δημιουργία σωματιδίων και αστοχία σφράγισης.

Ο στεγανοποιητικός δακτύλιος με επίστρωση TaC εμφανίζει πολύ χαμηλούς ρυθμούς εξαγωγής αερίων, ακόμη και σε υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας το ιδανικό για εφαρμογές υψηλού κενού. Αυτό διασφαλίζει την καθαρότητα της διαδικασίας και αποτρέπει την εναπόθεση ανεπιθύμητων ρύπων σε ευαίσθητες επιφάνειες γκοφρέτας.

Ειδικά πλεονεκτήματα σε εφαρμογές ημιαγωγών:

Εκτεταμένη διάρκεια ζωής σφραγίδας:Ο δακτύλιος σφράγισης με επίστρωση TaC αυξάνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής της στεγανοποίησης παρέχοντας ανώτερη αντοχή στη χημική προσβολή, τη θερμική υποβάθμιση και τη μηχανική φθορά. Αυτό μειώνει τη συχνότητα αντικατάστασης σφραγίδων, ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας και το κόστος συντήρησης.

Βελτιωμένη απόδοση διεργασίας και ποιότητα γκοφρέτας:Η αδρανή φύση του στεγανοποιητικού δακτυλίου με επίστρωση TaC ελαχιστοποιεί τη δημιουργία σωματιδίων και τη μόλυνση, οδηγώντας σε υψηλότερες αποδόσεις διεργασίας και βελτιωμένη ποιότητα γκοφρέτας. Αυτό είναι κρίσιμο για την παραγωγή συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης με αυστηρές ανοχές ελαττωμάτων.

Βελτιωμένος χρόνος λειτουργίας και παραγωγικότητα εξοπλισμού:Η μεγαλύτερη διάρκεια ζωής στεγανοποίησης και οι μειωμένες απαιτήσεις συντήρησης συμβάλλουν στον αυξημένο χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού και τη συνολική παραγωγικότητα. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για τη μεγιστοποίηση της απόδοσης και την ικανοποίηση των απαιτήσεων της κατασκευής ημιαγωγών μεγάλου όγκου.