Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Το Semicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται στην κατασκευή ημιαγωγών και σε άλλες εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τσοκ επίστρωσης καρβιδίου τανταλίου Semicorex είναι ένα κατασκευασμένο με ακρίβεια εξάρτημα σχεδιασμένο για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex CVD TaC Coating Ring είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για απαιτητικές εφαρμογές που απαιτούν εξαιρετική αντοχή στη φθορά, θερμική σταθερότητα και χημική αδράνεια. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Planetary Plate είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο ειδικά για συστήματα MOCVD. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon είναι ένα εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο για επιταξιακές διεργασίες υψηλής απόδοσης στην κατασκευή ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part είναι ένα εξαιρετικά εξειδικευμένο εξάρτημα σχεδιασμένο για χρήση στη διαδικασία επιταξιακής εναπόθεσης. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης