Ο γραφίτης επίστρωσης TaC δημιουργείται με την επίστρωση της επιφάνειας ενός υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας με ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του τανταλίου με μια ιδιόκτητη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το καρβίδιο του τανταλίου (TaC) είναι μια ένωση που αποτελείται από ταντάλιο και άνθρακα. Έχει μεταλλική ηλεκτρική αγωγιμότητα και εξαιρετικά υψηλό σημείο τήξης, καθιστώντας το ένα πυρίμαχο κεραμικό υλικό γνωστό για την αντοχή, τη σκληρότητα και την αντοχή του στη θερμότητα και τη φθορά. Το σημείο τήξης των καρβιδίων του τανταλίου κορυφώνεται περίπου στους 3880°C ανάλογα με την καθαρότητα και έχει ένα από τα υψηλότερα σημεία τήξης μεταξύ των δυαδικών ενώσεων. Αυτό το καθιστά ελκυστική εναλλακτική λύση όταν οι υψηλότερες απαιτήσεις θερμοκρασίας υπερβαίνουν τις δυνατότητες απόδοσης που χρησιμοποιούνται σε επιταξιακές διεργασίες σύνθετων ημιαγωγών όπως το MOCVD και το LPE.
Στοιχεία υλικού Semicorex TaC Coating
Έργα |
Παράμετροι |
Πυκνότητα |
14,3 (gm/cm³) |
Εκπομπή |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Σκληρότητα (HK) |
2000 |
Αντίσταση (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Θερμική σταθερότητα |
<2500℃ |
Αλλαγή διάστασης γραφίτη |
-10~-20um (τιμή αναφοράς) |
Πάχος επίστρωσης |
≥20um τυπική τιμή (35um±10um) |
|
|
Τα παραπάνω είναι τυπικές τιμές |
|
Ο δακτύλιος στεγανοποίησης Semicorex με επίστρωση TaC που εφαρμόζεται σε εξαρτήματα στεγανοποίησης παρέχει εξαιρετικά πλεονεκτήματα απόδοσης στα απαιτητικά περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγών. Η επίστρωση TaC αντιμετωπίζει κρίσιμες προκλήσεις που σχετίζονται με τη χημική αντοχή, τις ακραίες θερμοκρασίες και τη μηχανική φθορά, επιτρέποντας υψηλότερες αποδόσεις διεργασιών, αυξημένο χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού και, τελικά, χαμηλότερο κόστος κατασκευής. Εμείς στη Semicorex είμαστε αφοσιωμένοι στην κατασκευή και την παροχή υψηλής απόδοσης επικαλυμμένο με TaC δακτύλιο στεγανοποίησης που συνδυάζει την ποιότητα με την οικονομική απόδοση.**
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex επικαλυμμένο με καρβίδιο του τανταλίου Susceptor είναι ένα κρίσιμο συστατικό, που παίζει καθοριστικό ρόλο στις διαδικασίες εναπόθεσης που είναι απαραίτητες για τη δημιουργία γκοφρετών ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τσοκ Semicorex Tantalum Carbide είναι ένα προηγμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται στον εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, γνωστό για τις εξαιρετικές θερμικές και μηχανικές του ιδιότητες. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο Semicorex TaC Coated Ring αποτελεί ένα κρίσιμο εξάρτημα που πληροί αυτές τις απαιτητικές απαιτήσεις. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΗ κεφαλή ντους με επίστρωση Semicorex TaC είναι αναπόσπαστο μέρος της διαδικασίας εναπόθεσης χημικών ατμών, παρέχοντας απαράμιλλη απόδοση και μακροζωία. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή ΕρώτησηςΤο τσοκ με επίστρωση Semicorex TaC αντιπροσωπεύει μια σημαντική πρόοδο στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Η Semicorex δεσμεύεται να παρέχει ποιοτικά προϊόντα σε ανταγωνιστικές τιμές, ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα*.
Διαβάστε περισσότεραΑποστολή Ερώτησης